分子泵機(jī)組MPU-90i的安裝流程與注意事項(xiàng)，可以參考以下內(nèi)容：
安裝流程
1.開(kāi)箱檢查：雙手用力抬出分子泵機(jī)組，檢查設(shè)備在運(yùn)輸過(guò)程中有無(wú)損壞。
2.準(zhǔn)備工作：將設(shè)備的電源線接好，并將地線與設(shè)備機(jī)殼連接。如果是三相供電方式，初次通電時(shí)需要觀察機(jī)械泵的相序，確保機(jī)械泵相序正常。
3.設(shè)備安裝：
分子泵機(jī)組應(yīng)安裝在平地上，豎直方向與垂直方向夾角應(yīng)小于5度。
安裝后要固定腳輪，確保機(jī)組穩(wěn)固。
4.連接部位檢查：真空系統(tǒng)各連接部位應(yīng)密封可靠，確保無(wú)泄漏發(fā)生。
5.水路系統(tǒng)檢查：水路系統(tǒng)接頭處應(yīng)無(wú)滴漏，同時(shí)確認(rèn)入口水壓、水溫及水質(zhì)是否滿足要求。
6.氣體排放：建議將機(jī)械泵排出的氣體引出室外，以確保工作環(huán)境的安全。
7.電纜安裝：正確插入電纜，并用螺母擰緊，確保連接到位。
8.啟動(dòng)前檢查：
確認(rèn)分子泵安裝穩(wěn)妥，電纜線正確連接并鎖緊。
檢查真空度和冷卻水狀況。
進(jìn)行必要的對(duì)中檢查和調(diào)整。
9.啟動(dòng)機(jī)組：按照操作手冊(cè)的指示，啟動(dòng)分子泵機(jī)組，并監(jiān)控其運(yùn)行狀態(tài)。
注意事項(xiàng)
1.安全防護(hù)：
在安裝和操作過(guò)程中，務(wù)必佩戴適當(dāng)?shù)陌踩雷o(hù)裝備，如手套、護(hù)目鏡等。
確認(rèn)防護(hù)網(wǎng)已安裝，特殊情況下應(yīng)定做特殊防護(hù)網(wǎng)。
2.振動(dòng)與沖擊防護(hù)：
分子泵振動(dòng)極小，可直接接于被抽系統(tǒng)。對(duì)于高精密儀器的應(yīng)用（如電子顯微鏡），建議使用隔振器以減少振動(dòng)。
避免對(duì)分子泵產(chǎn)生強(qiáng)烈的沖擊或振動(dòng)，以防損壞設(shè)備。
3.磁場(chǎng)屏蔽：
分子泵在磁場(chǎng)中運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，應(yīng)確保徑向和軸向磁場(chǎng)強(qiáng)度均不大于規(guī)定值（如30Gs）。
若磁場(chǎng)強(qiáng)度超標(biāo)，應(yīng)使用導(dǎo)磁材料進(jìn)行屏蔽。
4.電源與電氣連接：
確保電源電壓穩(wěn)定且符合設(shè)備要求。
電氣連接應(yīng)牢固可靠，避免松動(dòng)或接觸不良。
5.操作與維護(hù)：
遵循操作手冊(cè)的指示進(jìn)行操作和維護(hù)。
定期檢查真空度、冷卻水狀況以及電纜連接情況。
若發(fā)現(xiàn)異常情況或故障，應(yīng)立即停機(jī)并尋求專業(yè)維修服務(wù)。
6.環(huán)境要求：
安裝環(huán)境應(yīng)符合技術(shù)要求和真空衛(wèi)生要求。
避免將分子泵安裝在高溫、潮濕或腐蝕性氣體環(huán)境中。
7.啟動(dòng)與停機(jī)：
在啟動(dòng)分子泵前，應(yīng)確保連接無(wú)誤、無(wú)泄漏、冷卻和潤(rùn)滑正常。
停機(jī)時(shí)，應(yīng)先給出停機(jī)指令，待分子泵減速結(jié)束并停止后，再關(guān)閉電源。
分子泵機(jī)組MPU-90i的安裝流程包括開(kāi)箱檢查、準(zhǔn)備工作、設(shè)備安裝、連接部位檢查、水路系統(tǒng)檢查、氣體排放、電纜安裝、啟動(dòng)前檢查和啟動(dòng)機(jī)組等步驟。在安裝過(guò)程中，應(yīng)注意安全防護(hù)、振動(dòng)與沖擊防護(hù)、磁場(chǎng)屏蔽、電源與電氣連接、操作與維護(hù)以及環(huán)境要求等方面的事項(xiàng)。
