電子光學(xué)系統(tǒng) | 電子槍類(lèi)型 | 預(yù)對(duì)中型發(fā)叉式鎢燈絲電子槍 |
分辨率 | 2.5 nm @ 20 kV | |
4 nm @ 3 kV | ||
5 nm @ 1 kV | ||
放大倍率 | 1 x~300,000 x | |
加速電壓 | 0.1 kV~30 kV | |
成像系統(tǒng) | 探測(cè)器 | 二次電子探測(cè)器(ETD)、鏡筒內(nèi)電子探測(cè)器 |
*背散射電子探測(cè)器、*能譜儀EDS等 | ||
圖像保存格式 | TIFF、JPG、BMP、PNG | |
真空系統(tǒng) | 真空模式 | 優(yōu)于5×10-4 Pa |
控制方式 | 全自動(dòng)控制 | |
樣品室 | 攝像頭 | 光學(xué)導(dǎo)航 |
樣品倉(cāng)內(nèi)監(jiān)控 | ||
樣品臺(tái)配置 | 五軸自動(dòng) | |
軟件 | 語(yǔ)言 | 中文 |
操作系統(tǒng) | Windows | |
導(dǎo)航 | 光學(xué)導(dǎo)航、手勢(shì)快捷導(dǎo)航 | |
自動(dòng)功能 | 自動(dòng)亮度對(duì)比度、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)像散 |