當前位置:> 供求商機> 北斗星儀器半導體車間有毒氣體快速檢測儀
pGas200-ASM-SC-6s 半導體車間有毒氣體快速檢測儀是一款專門用于檢測半導體工廠中可燃、有毒、有害氣體泄漏的實用型產品,具有高靈敏度、高可靠性、低濃度檢測等特點,可檢測硅烷、磷化氫、砷化氫、氯化物、氟化物、氫氣、氨氣等上百種氣體,適用于半導體、液晶面板、光伏和電池制造等行業(yè)。電化學探頭直接采樣,配有方便背包、打印功能,對現(xiàn)場檢測、或實驗室檢測尤其方便適用。
環(huán)境檢測
污染源檢測
工業(yè)工藝現(xiàn)場分析
科學研究實驗室分析
軍事毒氣安全
勞動安全,施工安全
化學泄露、事故分析
pGas200-ASM-SC-6s 半導體車間有毒氣體快速檢測儀技術指標:
BD4主機測試ADC分辨率: 0.025%FS
電化學探頭準確度: ±1-2%讀數(shù)(一般)
長期穩(wěn)定性: +/-10% /年 (一般)
分析器響應時間:< 10ms
探頭響應時間:<1min
儀器使用環(huán)境: 溫度:-10℃~60℃; 濕度:10%~90%R(無結露)
儀器保存環(huán)境: 溫度: 0℃~50℃; 濕度:10%~80%R(無結露)
電化學探頭直接采樣: 溫度: 0-40℃; 壓力:<1.1 kgf/cm2
供電: 6V充電蓄電池
連續(xù)使用時間: >24Hr/每次充電; 電池置放時間1周。
便攜式有毒氣體快速檢測儀測試參數(shù)及技術指標:
技術參數(shù) | 技術 | 說明 |
PH3-4PH:0.05-20ppm SiH4-4SL:0.05-50ppm AsH3-3E1:0.015-1ppm Chlorides: 0.7-30ppm Fluorides: 0.25-10ppm H2:0-4%VOl | EC EC EC EC EC EC | 擴散式采樣; 半導體車間全毒氣報警, 有一定的區(qū)辯能力. Chlorides對HCl,SiH2Cl2, S2Cl2, GeCl4, PCl3, PCl5, POCl3, SiCl4, TiCl4, SiHCl3, C3Cl3N3都有響應; Fluorides對HF,COF2,S2F10,SO2F2,SnF4,C3F3N3都有響應; Gas200通過標定系統(tǒng)甚至可能對H2B6.GeH4,H2Se進行定性定量探測. |
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