HEIDENHAIN海德漢敞開式直線光柵尺設(shè)計用于對測量精度要求*的機(jī)床和系統(tǒng)
海德漢 – 高精位置測量和控制技術(shù)
約翰內(nèi)斯•海德漢博士公司研發(fā)和生產(chǎn)高質(zhì)量直線光柵尺和角度編碼器、旋轉(zhuǎn)編碼器、數(shù)顯裝置和數(shù)控系統(tǒng)。 海德漢公司產(chǎn)品主要用于精密機(jī)床和電子元件的生產(chǎn)和加工設(shè)備。
我們擁有研發(fā)和生產(chǎn)測量設(shè)備和數(shù)控系統(tǒng)的豐富經(jīng)驗和專業(yè)知識,我們?yōu)槲磥泶笮驮O(shè)備和生產(chǎn)型機(jī)床的自動化打造發(fā)展基礎(chǔ)。
典型應(yīng)用包括:
半導(dǎo)體業(yè)的測量和生產(chǎn)設(shè)備
PCB電路板組裝機(jī)
超高精度機(jī)床
高精度機(jī)床
測量機(jī)和比較儀,測量顯微鏡和其它精密測量設(shè)備
直驅(qū)電機(jī)
HEIDENHAIN海德漢敞開式直線光柵尺技術(shù)參數(shù):
技術(shù)指標(biāo) | LIP 382 |
測量標(biāo)準(zhǔn) | Zerodur玻璃陶瓷上的DIADUR相位光柵;光柵周期0.512微米 |
線性膨脹系數(shù) | α THERM =(0±0.1)×10 -6 ? -1 |
精度等級 | ±0.5 µm(可根據(jù)要求提供更高的精度等級) |
基線錯誤 | ≤ ±0.075 µm / 5毫米 |
測量長度ML * ,單位mm | 70 120 150 170 220 270 |
參考標(biāo)記 | 沒有 |
接口 | 1 V PP |
綜合插補(bǔ) | – |
信號周期 | 0.128微米 |
截止頻率–3 dB | ≥1兆赫 |
掃描頻率* | – |
邊緣分離a | |
移動速度 | ≤ 7.6米/分鐘 |
插補(bǔ)誤差 | ±0.01納米 |
位置噪聲RMS | 0.06 nm(1 MHz 1)) |
激光 | 掃描頭和天平安裝: 1級 |
未安裝掃描頭: 3B級 | |
使用的激光二極管: 3B級 | |
電氣連接 | 0.5 m電纜至接口電子設(shè)備(APE), |
可連接至APE的單獨(dú)適配器電纜(1 m / 3 m / 6 m / 9 m) | |
電纜長度 | 參見接口說明,但≤30 m(使用海德漢電纜) |
電源 | 直流5 V±0.25 V |
目前的消費(fèi) | <190毫安 |
振動55 Hz至2000 Hz | ≤4 m / s 2(EN 60068-2-6) |
震動11毫秒 | ≤50 m / s 2(EN 60068-2-27) |
工作溫度 | 0°C至40°C |
質(zhì)譜 掃描頭 | 150克 |
接口電子 | 100克 |
線性刻度 | ML70毫米: 260克,ML ≥ 150毫米: 700克 |
連接線 | 38克/平方米 |
* 訂購時請選擇 | |
1) 后續(xù)電子設(shè)備的–3 dB截止頻率 | |
更多產(chǎn)品詳見:海德漢