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一文帶你認(rèn)識(shí)球差電鏡!

閱讀:5524      發(fā)布時(shí)間:2021-11-2
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  球差電鏡,什么是球差?球差是像差的一種,是影響TEM分辨率的主要原因之一。由于像差(球差、像散、彗形像差和色差)的存在,無(wú)論是光學(xué)透鏡還是電磁透鏡,其透鏡系統(tǒng)都無(wú)法做到。光學(xué)透鏡中,可通過(guò)將凸透鏡和凹透鏡組合使用來(lái)減少由凸透鏡邊緣匯聚能力強(qiáng)中心匯聚能力弱所致的所有的光線(電子)無(wú)法匯聚到一個(gè)焦點(diǎn)的缺點(diǎn),可對(duì)于電磁透鏡,我們沒(méi)有凹透鏡,球差便成了影響TEM分辨率最主要也最難解決的問(wèn)題。
 
  球差電鏡,球差是由什么產(chǎn)生的?TEM中包含多個(gè)磁透鏡:聚光鏡、物鏡、中間鏡和投影鏡等。球差是由于磁鏡的構(gòu)造不好造成的,這些磁鏡組都會(huì)產(chǎn)生球差。當(dāng)我們矯正不同的磁透鏡就有了不同種類的ACTEM。當(dāng)我們使用STEM模式時(shí),聚光鏡會(huì)聚電子束掃描樣品成像,此時(shí)聚光鏡球差是影響分辨率的主要原因。因此,以做STEM為主的TEM,球差校正裝置會(huì)安裝在聚光鏡位置,即為AC-STEM。而當(dāng)我們使用image模式時(shí),影響成像分辨率的主要是物鏡的球差,此種校正器安裝在物鏡位置的即為AC-TEM。當(dāng)然也有在一臺(tái)TEM上安裝兩個(gè)校正器的,就是所謂的雙球差校正TEM。
 
  球差電鏡安裝了物鏡矯正器或者聚光鏡矯正器,消除了一些透鏡系統(tǒng)中存在的球面像差,將透射電鏡的分辨率提高到了亞埃級(jí)。它可以在兩種模式下工作,分別是“TEM模式”和“STEM模式”,在TEM下更多是觀察形貌,在STEM模式下,可以做EDS和EELS成分線掃和mapping。

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