場(chǎng)發(fā)射電鏡是電子顯微鏡的一種，其原理是利用二次電子或背散射電子成像，對(duì)樣品表面放大一定的倍數(shù)進(jìn)行形貌觀察，同時(shí)利用電子激發(fā)出樣品表面的特征X射線來(lái)對(duì)微區(qū)的成分進(jìn)行定性定量分析，可對(duì)試樣進(jìn)行表面形貌觀察分析，已廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、冶金、電子、半導(dǎo)體、食品、生命科學(xué)等科研和工程領(lǐng)域。
場(chǎng)發(fā)射電鏡的結(jié)構(gòu)組成：
(1)電子源：也稱電子槍，產(chǎn)生連續(xù)不斷的穩(wěn)定的電子流。普通掃描電鏡的電子槍由陰極(燈絲)、柵極和陽(yáng)極組成。陰極采用能加熱的鎢絲，柵極圍在陰極周圍。被加熱了的鎢絲釋放出電子，并在陽(yáng)極和陰極之間施加高壓，形成加速電場(chǎng)，從而使電子得到能量——高速飛向。而場(chǎng)發(fā)射電子槍與普通鎢絲電子槍有所不同，陰極呈桿狀，在它的一端有個(gè)極鋒利的尖點(diǎn)，由加速電壓加速產(chǎn)生高速電子流飛向樣品
(2)電子透鏡：將從電子槍發(fā)射出來(lái)的電子會(huì)聚成直徑最小為1——5nm電子束。
(3)掃描系統(tǒng)：使電子束作光柵掃描運(yùn)動(dòng)。
場(chǎng)發(fā)射電鏡的應(yīng)用范圍：
1、金屬、陶瓷、高分子、礦物、半導(dǎo)體、紙張、化工產(chǎn)品的顯微形貌觀察及材料的晶體結(jié)構(gòu)、相組織分析；
2、各種材料微區(qū)化學(xué)成分的定性定量檢測(cè)；
3、粉末、微粒、納米樣品形態(tài)觀察和粒度測(cè)定；
4、機(jī)械零件與工業(yè)產(chǎn)品的失效分析；
5、鍍層厚度、成分與質(zhì)量測(cè)定；
6、生物、醫(yī)學(xué)和農(nóng)業(yè)等領(lǐng)域。
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