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FIB雙束掃描電鏡
  • FIB雙束掃描電鏡
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更新時(shí)間:2024-12-26 21:00:07

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Scios 2 DualBeam FIB雙束掃描電鏡系統(tǒng)創(chuàng)新性的功能設(shè)計(jì),優(yōu)化了樣品處理能力、分析精度和易用性,是滿足科學(xué)家和工程師在學(xué)術(shù)和工業(yè)環(huán)境中進(jìn)行高級(jí)研究和分析的理想解決方案。

Scios 2 DualBeam FIB雙束掃描電鏡可快速輕松的定位制備各類材料的高分辨S/TEM樣品。系統(tǒng)配備Thermo Scientific Auto Slice&View軟件,可以高質(zhì)量、全自動(dòng)地采集多種三維信息。無論是在STEM模式下以30kV來獲取結(jié)構(gòu)信息,還是在較低的能量下從樣品表面獲取無荷電信息,系統(tǒng)可在廣泛的工作條件下提供出色的納米級(jí)細(xì)節(jié)。Scios 2 DualBeam可幫助所有經(jīng)驗(yàn)水平的用戶更快、更輕松的獲得高質(zhì)量、可重復(fù)的結(jié)果,此外,系統(tǒng)專為材料科學(xué)中具挑戰(zhàn)的材料微觀表征需求而設(shè)計(jì),配備了全集成化、極快速M(fèi)EMS熱臺(tái),可在更接近真實(shí)環(huán)境的工作條件下進(jìn)行樣品表征。


Scios 2 DualBeam FIB雙束掃描電鏡參數(shù):

發(fā)射源:高穩(wěn)定型肖特基場發(fā)射電子槍

分辨率:
☆工作距離下1.4nm(1keV)

電子束參數(shù):
☆探針電流范圍:1pA – 400nA
☆加速電壓范圍:200V ~ 30kV
☆著陸電壓范圍:20eV ~ 30keV
☆導(dǎo)航蒙太奇功能,可額外增大視場寬度

離子光學(xué):
大束流Sidewinder離子鏡筒
加速電壓范圍:500v-30kv
離子束流范圍:1.5pA-65nA
15孔光闌
不導(dǎo)電樣品漂移抑制模式
離子源壽命至少1000h
離子束分辨率30kv下3.0nm

樣品室:
☆電子束和離子束重合點(diǎn)在分析工作距離處(SEM7mm)
☆端口:21個(gè)
☆內(nèi)寬:379mm

樣品臺(tái):靈活五軸電動(dòng)樣品臺(tái)
☆XY范圍:110mm
☆Z范圍:65mm
☆旋轉(zhuǎn):360° 連續(xù)
☆傾斜:-15°到+90°
☆大樣品尺寸,直徑110mm,可沿X、Y軸*旋轉(zhuǎn)時(shí)
☆大樣品高度,與優(yōu)中心點(diǎn)間隔為85mm
☆大樣品質(zhì)量 5 kg(包括樣品托)
☆同心旋轉(zhuǎn)和傾斜

樣品托:
☆標(biāo)準(zhǔn)多功能樣品托,以*方式直接安裝到樣品臺(tái)上,可容納18個(gè)標(biāo)準(zhǔn)樣品托架(φ12mm)、3個(gè)預(yù)傾斜樣品托、2個(gè)垂直和2個(gè)預(yù)傾斜側(cè)排托架(38°和90°),樣品安裝無需工具

探測器系統(tǒng):可同步檢測多達(dá)4中信號(hào)
☆樣品室二次電子探測器ETD
☆鏡筒內(nèi)背散射電子探測器T1
☆鏡筒內(nèi)二次電子探測器T2
☆鏡筒內(nèi)二次電子探測器T3(可升級(jí))
☆ IR-CCD紅外相機(jī)(觀察樣品臺(tái)高度)
☆ 可用于圖像導(dǎo)航的彩色光學(xué)相機(jī)Nav-Cam+™
☆ 高性能離子轉(zhuǎn)換和電子探測器ICE
☆ 可伸縮式低電壓、高襯度、分割式固態(tài)背散射探測器DBS
☆ 電子束流測量

控制系統(tǒng):
☆ 64 操作系統(tǒng)、鍵盤、光學(xué)鼠標(biāo)
☆ 圖像顯示:24寸LCD顯示器,顯示分辨率1920×1200
☆ 支持用戶自定義的GUI,可同時(shí)實(shí)時(shí)顯示4幅圖像
本地語言支持


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