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技術(shù)文章

thermocera薄膜實(shí)驗(yàn)設(shè)備介紹

閱讀:830          發(fā)布時(shí)間:2023-3-24

thermocera薄膜實(shí)驗(yàn)設(shè)備介紹

【MiniLab系列柔性薄膜實(shí)驗(yàn)設(shè)備】可根據(jù)各種客戶要求模塊化配置進(jìn)行定制。 我們還滿足高規(guī)格要求,如多路濺射、氣相沉積、多維同步成膜和多腔室系統(tǒng)。 所有組件都存儲(chǔ)在 19 英寸機(jī)架(單、雙、三)的緊湊框架中,所有操作和數(shù)據(jù)管理都可以通過(guò)單個(gè) 7 英寸觸摸面板(或 Windows PC)集中管理。 我們通過(guò)與手套箱無(wú)縫連接、氣相沉積掩模/基板自動(dòng)轉(zhuǎn)換器、去除 1D/PMMA 等抗蝕劑的“軟蝕刻"和晶圓級(jí)石墨烯合成設(shè)備 [nanoCVD-WGP(MiniLab-2 的應(yīng)用設(shè)備)]等原創(chuàng)技術(shù)為研究和開發(fā)做出貢獻(xiàn)。

  • 真空沉積(金屬和有機(jī)材料)

  • 磁控濺射

  • 電子束沉積

  • 射頻/直流等離子體蝕刻

  • 退火

  • 熱CVD

相關(guān)產(chǎn)品介紹

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MiniLab系列
柔性薄膜實(shí)驗(yàn)室設(shè)備

由于它是模塊化的內(nèi)置類型,因此可以根據(jù)所需的膜類型和工藝組裝專用機(jī)器。 靈活的緊湊型實(shí)驗(yàn)設(shè)備,可用于各種用途。

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ML-GB-026/090
手套箱薄膜實(shí)驗(yàn)室設(shè)備

通過(guò)將PVD腔室存儲(chǔ)在GB中,可以在“無(wú)氧/無(wú)濕氣"的實(shí)驗(yàn)環(huán)境中無(wú)縫執(zhí)行氣相沉積,飛濺和退火等所有操作。

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納米CVD-WGP
晶圓級(jí)石墨烯合成器

Φ3英寸和Φ4英寸晶圓尺寸的石墨烯合成器。 通過(guò)抑制雜質(zhì)高速合成清潔、高質(zhì)量的石墨烯。 它可用于熱CVD或低溫/高溫等離子CVD。

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納米爐熱CVD機(jī)

緊湊型臺(tái)式熱壁式熱CVD系統(tǒng)。 4.工藝氣體系統(tǒng),高精度APC工藝壓力控制。 均勻加熱實(shí)驗(yàn)可以在反應(yīng)管中的穩(wěn)定氣氛中進(jìn)行。

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PLD-1000 PLD薄膜沉積設(shè)備

藍(lán)波半導(dǎo)體 PLD1000


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