日本atomax半導(dǎo)體電子零件制造用Atmax噴嘴AM型

精密涂層

由于可以精que地霧化和噴射少量液體，因此可以在半導(dǎo)體和電子元件制造過程中通過噴涂形成薄膜。
與其他噴涂系統(tǒng)相比，噴涂易于控制，設(shè)備配置也很簡單。它的特點是使用一個噴嘴的條件范圍很廣，從厚涂層到薄膜。

精密設(shè)備清洗

尖銳的粒度分布使其適用于需要精que度的精que清潔。與常規(guī)噴嘴相比，Atmax噴嘴具有霧化所需的壓縮氣體流量低，因此沖擊力小，射流流速慢。

使用*的液體劑進行涂層工作

有兩個主要組成部分。標準噴嘴材料是SUS316L，因為它具有非常簡單的組件結(jié)構(gòu)，但是可以使用與使用環(huán)境相匹配的材料來制造它。另外，在液體接觸部分中不使用O形圈。

使用細顆粒的加工工作

可以容易地連續(xù)注入包含固體的漿液。為了通過噴霧獲得霧化，從小孔口噴射是通常的理論，但是Atmax噴嘴能夠霧化大直徑的噴射。

Atmax噴

Atmax Nozzle AM型能夠精que地噴灑極少量的液體藥劑，并獲得平均粒徑約為5μm的細顆粒。它是一個非常小的噴嘴，可以在20至750瓦的空氣壓縮機中運行。