5
- 簡介
TH2690系列飛安表/皮安表/靜電計(jì)/高阻計(jì)提供了行業(yè)的測量功能。飛安表/靜電計(jì)具有0.01fA(10-17A)最小電流分辨率，可滿足大部分場景的微弱電流測量需求。高阻計(jì)內(nèi)置的1000V電壓源支持測量高達(dá)1000PΩ(1018Ω)的電阻。
針對不同的測試對象和測試環(huán)境，同惠還提供各種適配的附件。
與傳統(tǒng)的皮安表和高阻計(jì)不同，TH2690系列采用5吋彩色LCD電容觸摸屏，使操作更直觀便捷。 TH2690系列還提供多種視圖模式以便用戶觀察數(shù)據(jù)。除數(shù)字格式外，測量數(shù)據(jù)還可以轉(zhuǎn)換為直方圖及趨勢圖的形式，使用戶能即時(shí)查看測量數(shù)據(jù)的分布規(guī)律或變化趨勢。
TH2690系列提供六種型號，用戶可以根據(jù)實(shí)際測試需求靈活地選購適當(dāng)?shù)膬x器。
快速選型
TH2690
TH2690A
TH2690H
TH2691
TH2691A
TH2691H
測量分辨
6?位
電流分辨率
0.1fA
0.01pA
0.01fA
0.1fA
0.01pA
0.01fA
電阻
100PΩ
1PΩ
1000PΩ
-
-
-
電荷測量
1fC-2μC
-
1fC-2μC
-
-
-
溫濕度測量
√
-
√
-
-
-
電壓源
±1000V
-
-
-
電壓分辨率
1μV
-
-
-
- 應(yīng)用
材料特征測試
半導(dǎo)體、納米材料、聚合物材料、介質(zhì)材料、電化學(xué)材料、鐵電材料、石墨烯、陶瓷、生物材料、橡膠、薄膜、金屬、有機(jī)材料等
電子元器件泄漏電流和絕緣電阻測試
電容器、電阻器、二極管、晶體管、傳感器、TFT和CNT等類型、光電器件、納米器件、太陽能電池、開關(guān)、繼電器等
電子/非電子系統(tǒng)
離子束、電子束、傳感系統(tǒng)、粒子測量、嵌入式精密儀器等
半導(dǎo)體和其它器件I-V特性測量
體電阻/表面電阻率測量
- 技術(shù)參數(shù)
功能特點(diǎn)
1.0.01fA的電流測量分辨率
在研究材料特性或判定器件性能時(shí)，經(jīng)常需要測量fA/PΩ等極限電流、電阻，而傳統(tǒng)的數(shù)字萬用表（DMM）無法達(dá)到，TH2690系列飛安表/靜電計(jì)提供了行業(yè)的0.01fA電流測量分辨率及1000PΩ電阻測量，實(shí)現(xiàn)了材料測量，可滿足現(xiàn)在及將來的測量需求。
2.10,000讀數(shù)/秒的數(shù)據(jù)讀取速率
測量速度一般由積分設(shè)置中的積分周期決定，積分周期通常為工頻周期(PLC)的整數(shù)倍。在能夠提供充足的平均次數(shù)來避免工頻噪聲對測量的影響的前提下，積分周期顯然越短越好。
由于傳統(tǒng)儀器的讀取速率相對緩慢，無法捕獲到快速瞬態(tài)信號。TH2690系列數(shù)據(jù)讀取速率可達(dá)10,000讀數(shù)/秒，可捕獲到更精細(xì)的被測器件響應(yīng)。
3.統(tǒng)計(jì)圖顯示
TH2690系列可以將測試結(jié)果在主界面以圖形方式實(shí)時(shí)地顯示，展示被測件（DUT）的動態(tài)特性。圖形分曲線圖和直方圖兩種。
下圖為設(shè)置界面
1） 曲線圖(時(shí)基視圖)顯示
TH2690可以便捷地繪制多種曲線圖，包括I-t、V-t、R-t、Q-t和I-R等(特定的圖形顯示功能取決于所使用的產(chǎn)品型號)。進(jìn)行敏感測量時(shí)，這種強(qiáng)大且全面的圖形顯示能力可使您更容易地獲取有價(jià)值的數(shù)據(jù)。
2） 直方圖顯示
任何測量環(huán)境中都會存在一定的噪聲波動，因此低電平測量數(shù)據(jù)都會帶有一定的統(tǒng)計(jì)不確定性。傳統(tǒng)的處理方法是在測量結(jié)束后繪制直方圖對測量數(shù)據(jù)進(jìn)行評估(通常在電腦上)。然而，如果您需要執(zhí)行多次測量和測試設(shè)置調(diào)試周期，這個(gè)過程將會變得冗長。
TH2690系列具有實(shí)時(shí)的、自動標(biāo)尺的直方圖顯示功能，使您能及時(shí)調(diào)試測量設(shè)置而無需在測量后再進(jìn)行數(shù)據(jù)處理。直方圖顯示于測量數(shù)據(jù)之下，方便您對比直方圖上的累積數(shù)據(jù)與實(shí)時(shí)測量數(shù)據(jù)。
4.掃描輸出
TH2690可以設(shè)定輸出單階梯波、雙階梯波、方波以及自定義列表輸出。點(diǎn)擊設(shè)定-源設(shè)定選項(xiàng)卡進(jìn)行設(shè)定。設(shè)定界面分別如下：
5.分選功能
TH2690可以對測試結(jié)果進(jìn)行判定分選。有分級（Grading）和分類（Sorting）兩種模式可選，最多可設(shè)置7個(gè)判定條件。設(shè)定界面如右圖：
其中分級（Grading）模式是指執(zhí)行極限判定直到遇到失敗跳出，輸出當(dāng)前失敗位，否則繼續(xù)下一個(gè)極限判定，若全部合格，則輸出個(gè)合格位。
分類（Sorting）模式是指執(zhí)行極限判定直到遇到合格跳出，輸出當(dāng)前合格位，否則繼續(xù)下一個(gè)極限判定，若全部失敗，則輸出個(gè)失敗位。
6.HANDLER接口定義
1,2,3為信號輸入腳，對應(yīng)上圖IN1，IN2，IN3。可以改變信號定義。
4,5,6,7為信號輸出腳，對應(yīng)上圖OUT4，OUT5，OUT6，OUT7。可以改變信號輸出模式。
7.錯(cuò)誤信息
當(dāng)儀器出現(xiàn)操作失誤或儀器自檢出錯(cuò)等問題時(shí)，在儀器下方信息欄會報(bào)錯(cuò)，點(diǎn)擊工具-錯(cuò)誤信息圖標(biāo)，在此處可查看報(bào)警信息，可根據(jù)提示進(jìn)行消除錯(cuò)誤。
8.專用溫濕度探頭提供更可靠的溫濕度數(shù)據(jù)
溫度和濕度是高值電阻測量中的關(guān)鍵參數(shù)。TH2690、TH2690H高阻計(jì)提供溫濕度傳感器接口，并配置了專用的溫濕度探頭。數(shù)字溫濕度探頭可用于測定溫度和濕度，提供比熱電偶更精確的溫度數(shù)據(jù)。
9.多種附件應(yīng)對不同的測試環(huán)境和被測件
TH2690配備了多種可選附件，以適配不同的被測件，進(jìn)一步提升其測試效果。主要包括電阻率測試盒和元件測試夾具。
電阻率測試盒配備多種尺寸的電極，可以用于測量不同規(guī)格材料的面電阻率和體電阻率。
元件測試夾具配備多種測試模塊，以應(yīng)對貼片器件、軸向引線器件等多種封裝的測量
10. 電阻率測量（選件）
TH2690系列可選配TH26090選件，進(jìn)行電阻率測量。
a) 方案配置：
序號
型號
名稱
必選項(xiàng)
備注
1
TH2690
飛安表/靜電計(jì)/高阻計(jì)主機(jī)
R
2
TH26090
電阻率測試盒
R
選件
3
備注
TH2690固件升級至
b) TH26090電阻率測試盒
功能
說明
測試電壓
0-±1000V
測試電極
Φ26mm、Φ38mm、Φ50mm（標(biāo)配），共3種可選
測試電流
0-10mA
接觸壓力
≤10kg
測量參數(shù)
表面電阻Rs、表面電阻率ρs、體電阻Rv、體電阻率ρv
c) 體積電阻Rv、體積電阻率ρv測量
將電壓源Vs施加到上電極，流經(jīng)測試樣品的大電流為Im，隨后體積電阻Rv用公式Rv=Vs/Im計(jì)算。
從測試樣品流向保護(hù)電極的大電流和從上電極流向保護(hù)電極的表面電流都屬于泄露電流；然而這些電流都會進(jìn)入Vs的低側(cè)，不會對用于計(jì)算Rv的電流表電流(Im)的大小造成影響。
體積電阻率ρv可用公式ρv=EAR/STHxRv計(jì)算出，其中:
EAR = Effective area 有效面積
STH = Sample thickness 樣品厚度。
a) 表面電阻Rs、表面電阻率ρs測量
將電壓源Vs施加到護(hù)環(huán)電極，在測試樣品表面上的電流從保護(hù)電極流向主電極，表面電流被為Im。表面電阻Rs可用公式Rs=Vs/Im計(jì)算。
從護(hù)環(huán)流向上電極的電流是泄露電流；然而這個(gè)電流會流入Vs的低側(cè)，不會對用于計(jì)算Rv的電流表電流(Im)的大小造成影響。
表面電阻可用公式ρs=EPER/GLENxRs計(jì)算出，其中:
EPER = Effective perimeter 有效周長
GLEN = Gap length 間隔長度
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號
TH2690
TH2690A
TH2690H
TH2691
TH2691A
TH2691H
顯示
顯示器
5.0寸電容式觸摸彩色LCD顯示器
測量分辨率
6?位
電流測量
量程
精度
分辨率
精度
分辨率
精度
分辨率
精度
分辨率
精度
分辨率
精度
分辨率
2pA
------
------
------
------
±(1%+5fA)
0.01fA
------
------
------
------
±(1%+5fA)
0.01fA
20pA
±(1%+5fA)
0.1fA
------
------
±(1%+5fA)
0.1fA
±(1%+5fA)
0.1fA
------
------
±(1%+5fA)
0.1fA
200pA
±(0.5%+5fA)
0.1fA
------
------
±(0.5%+5fA)
0.1fA
±(0.5%+5fA)
0.1fA
------
------
±(0.5%+5fA)
0.1fA
2nA
±(0.2%+50fA)
1fA
±(0.2%+50fA)
1fA
±(0.2%+50fA)
1fA
±(0.2%+50fA)
1fA
±(0.2%+50fA)
1fA
±(0.2%+50fA)
1fA
20nA
±(0.2%+3pA)
10fA
±(0.2%+3pA)
10fA
±(0.2%+3pA)
10fA
±(0.2%+3pA)
10fA
±(0.2%+3pA)
10fA
±(0.2%+3pA)
10fA
200nA
±(0.2%+5pA)
100fA
±(0.2%+5pA)
100fA
±(0.2%+5pA)
100fA
±(0.2%+5pA)
100fA
±(0.2%+5pA)
100fA
±(0.2%+5pA)
100fA
2μA
±(0.1%+50pA)
1pA
±(0.1%+50pA)
1pA
±(0.1%+50pA)
1pA
±(0.1%+50pA)
1pA
±(0.1%+50pA)
1pA
±(0.1%+50pA)
1pA
20μA
±(0.05%+500pA)
10pA
±(0.05%+500pA)
10pA
±(0.05%+500pA)
10pA
±(0.05%+500pA)
10pA
±(0.05%+500pA)
10pA
±(0.05%+500pA)
10pA
200μA
±(0.05%+5nA)
100pA
±(0.05%+5nA)
100pA
±(0.05%+5nA)
100pA
±(0.05%+5nA)
100pA
±(0.05%+5nA)
100pA
±(0.05%+5nA)
100pA
2mA
±(0.05%+50nA)
1nA
±(0.05%+50nA)
1nA
±(0.05%+50nA)
1nA
±(0.05%+50nA)
1nA
±(0.05%+50nA)
1nA
±(0.05%+50nA)
1nA
20mA
±(0.05%+500nA)
10nA
±(0.05%+500nA)
10nA
±(0.05%+500nA)
10nA
±(0.05%+500nA)
10nA
±(0.05%+500nA)
10nA
±(0.05%+500nA)
10nA
電阻測量
量程
精度
分辨率
精度
分辨率
精度
分辨率
------
1MΩ
±(0.135%+1Ω)
1Ω
±(0.135%+1Ω)
1Ω
±(0.135%+1Ω)
1Ω
------
10MΩ
±(0.135%+10Ω)
10Ω
±(0.135%+10Ω)
10Ω
±(0.135%+10Ω)
10Ω
------
100MΩ
±(0.185%+100Ω)
100Ω
±(0.185%+100Ω)
100Ω
±(0.185%+100Ω)
100Ω
------
1GΩ
±(0.285%+1kΩ)
1kΩ
±(0.285%+1kΩ)
1kΩ
±(0.285%+1kΩ)
1kΩ
------
10GΩ
±(0.41%+10kΩ)
10kΩ
±(0.41%+10kΩ)
10kΩ
±(0.41%+10kΩ)
10kΩ
------
100GΩ
±(0.41%+100kΩ)
100kΩ
±(0.41%+100kΩ)
100kΩ
±(0.41%+100kΩ)
100kΩ
------
1TΩ
±(0.45%+1MΩ)
1MΩ
±(0.45%+1MΩ)
1MΩ
±(0.45%+1MΩ)
1MΩ
------
10TΩ
±(0.75%+10MΩ)
10MΩ
------
------
±(0.75%+10MΩ)
10MΩ
------
100TΩ
±(2.6%+100MΩ)
100MΩ
------
------
±(0.75%+100MΩ)
100MΩ
------
1PΩ
------
------
------
------
(2.6%+1GΩ)
1GΩ
------
量程
電流量程
電壓源
電流量程
電壓源
電流量程
電壓源
------
1MΩ
200μA
20V
200μA
20V
200μA
20V
------
10MΩ
20μA
20V
20μA
20V
20μA
20V
------
100MΩ
2μA
20V
2μA
20V
2μA
20V
------
1GΩ
200nA
20V
200nA
20V
200nA
20V
------
10GΩ
20nA
20V
20nA
20V
20nA
20V
------
100GΩ
2nA
20V
2nA
20V
2nA
20V
------
1TΩ
2nA
200V
2nA
200V
2nA
200V
------
10TΩ
200pA
200V
------
------
200pA
200V
------
100TΩ
20pA
200V
------
------
20pA
200V
------
測量電阻
100PΩ
1000TΩ
1000PΩ
------
電壓測量（獨(dú)立輸入單元)
量程
精度
分辨率
------
2V
±(0.05%+40μV)
1μV
------
20V
±(0.05%+400μV)
10μV
------
輸入阻抗
>200TΩ
------
電荷測量（指標(biāo)在1s內(nèi)有效）
量程
精度
分辨率
------
精度
分辨率
------
2nC
±(0.5%+50fC)
1fC
------
±(0.5%+50fC)
1fC
------
20nC
±(0.5%+500fC)
10fC
------
±(0.5%+500fC)
10fC
------
200nC
±(0.5%+5pC)
100fC
------
±(0.5%+5pC)
100fC
------
2μC
±(0.5%+50pC)
1pC
------
±(0.5%+50pC)
1pC
------
電壓源
量程
精度
分辨率
------
20V
±(0.05%+2mV)
700μV
------
1000V
±(0.05%+100mV)
35mV
------
量程
輸出電流
------
20V
±20mA
------
1000V
±1mA
------
電壓源功能
直流、掃描(單掃描、雙掃描、列表掃描)、ARB(方波)
------
溫度測量范圍及精度
-40℃-10℃
1℃
------
10℃-55℃
0.5℃
------
55℃-80℃
1℃
------
濕度測量范圍及精度
0-20%RH
4％
------
20-80％RH
3％
------
80-99%RH
4％
------
視圖模式
儀表視圖、圖形視圖、直方圖、滾動視圖
測試端子
電壓輸入
三軸BNC
------
電流輸入
三軸BNC
電壓輸出
√
------
COMMON
√
GROUND
香蕉座
接口
D/A輸出
±2VFS
HANDLER
√
通訊接口
RS232、USB DEVICE、USB HOST、LAN、GPIB
傳感器輸入
溫濕度
------
互鎖輸入
√
------
環(huán)境溫度與濕度
使用溫濕度范圍
0°C--45°C，30%--80%，無冷凝
存放溫濕度范圍
-20°C--60°C，10%--90%，無冷凝
精度保證溫濕度
23℃±5℃，30%-80%RH
預(yù)熱時(shí)間
1小時(shí)
環(huán)境溫度變化
自校準(zhǔn)后小于±3℃
校準(zhǔn)周期
1年
一般指標(biāo)
電源
AC：90V-264V,50/60Hz；或DC：127V-370V
功率
60W
上架尺寸
215(W)×88(H)×412(D)
外形尺寸
235(W)×111(H)×440(D)
重量
3.5kg
- 附件
| 標(biāo)配 | |||||
| 配件名稱 | 型號 | ||||
| 選配 | |||||
| 配件名稱 | 型號 | ||||
