- 簡介
TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀是常州同惠電子根據(jù)當(dāng)前半導(dǎo)體功率器件發(fā)展趨勢,針對半導(dǎo)體材料及功率器件設(shè)計(jì)的分析儀器。
儀器采用了一體化集成設(shè)計(jì),二極管、三極管、MOS管及IGBT等半導(dǎo)體功率器件寄生電容、CV特性可一鍵測試,無需頻繁切換接線及設(shè)置參數(shù),單管功率器件及模組功率器件均可一鍵快速測試,適用于生產(chǎn)線快速測試、自動化集成。
CV曲線掃描分析能力亦能滿足實(shí)驗(yàn)室對半導(dǎo)體材料及功率器件的研發(fā)及分析。
儀器設(shè)計(jì)頻率為1kHz-2MHz,VGS電壓可達(dá)±40V,VDS電壓可達(dá)±200V/±1500V/±3000V,足以滿足大多數(shù)功率器件測試。
功能特點(diǎn)
A.一體化測試,集成度高、體積小、效率高
一臺儀器內(nèi)置了LCR數(shù)字電橋、VGS電壓源、VDS電壓源、高低壓切換矩陣以及上位機(jī)軟件,將復(fù)雜的接線、繁瑣的操作集成在支持電容式觸摸的Linux系統(tǒng)內(nèi),操作更簡單。特別適合產(chǎn)線快速化、自動化測試。
B.單管器件測試,10.1寸大屏,四種寄生參數(shù)同屏顯示,讓細(xì)節(jié)一覽無遺
MOSFET或IGBT最重要的四個寄生參數(shù):Ciss、Coss、Crss、Rg,Cies、Coes、Cres、Rg均可一鍵測試,10.1寸大屏可同時將測量結(jié)果、等效電路圖、分選結(jié)果等重要參數(shù)同時顯示,一目了然。
一鍵測試單管器件器件時,無需頻繁切換測試腳位、測量參數(shù)、測量結(jié)果,大大提高了測試效率。
C.列表測試,多個、多芯、模組器件測量參數(shù)同屏顯示
TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀支持最多6個單管器件、6芯器件或6模組器件測試,所有測量參數(shù)通過列表掃描模式同時顯示測試結(jié)果及判斷結(jié)果。
D.曲線掃描功能(選件)
在MOSFET的參數(shù)中,CV特性曲線也是一個非常重要的指標(biāo),如下圖
TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀支持C-V特性曲線分析,可以以對數(shù)、線性兩種方式實(shí)現(xiàn)曲線掃描,可同時顯示多條曲線:同一參數(shù)、不同Vg的多條曲線;同一Vg、不同參數(shù)多條曲線。
E.的接觸檢查(Contact)功能,提前排除自動化測試隱患
F.的快速通斷測試(OP_SH),排除損壞器件
在半導(dǎo)體器件特性測試時,由于半器件本身是損壞件,特別是多芯器件其中一個芯已經(jīng)損壞的情況下,測試雜散電容仍有可能被為合格,而半導(dǎo)體器件的導(dǎo)通特性才是最重要的特性。
因此,對于本身導(dǎo)通特性不良的產(chǎn)品進(jìn)行C-V特性測試是沒有必要的,不僅僅浪費(fèi)了測量時間,同時會由于C-V合格而混雜在良品里,導(dǎo)致成品出貨后被退回帶來損失.
TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀提供了快速通斷測試(OP_SH)功能,可用于直接判斷器件本身導(dǎo)通性能。
G.模組式器件設(shè)置,支持定制
針對模組式器件如雙路(Dual)MOSFET、多組式IGBT,有些器件會有不同類型芯片混合式封裝;TH510系列CV特性分析儀針對此情況做了優(yōu)化,常見模組式芯片Demo已內(nèi)置,特殊芯片支持定制.
H.簡單快捷設(shè)置
I.10檔分選及可編程HANDLER接口
J.支持定制化,智能固件升級方式
同惠儀器對于客戶而言是開放的,儀器所有接口、指令集均為開放設(shè)計(jì),客戶可自行編程集成或進(jìn)行功能定制,定制功能若無硬件更改,可直接通過固件升級方式更新。
儀器本身功能完善、BUG解決、功能升級等,都可以通過升級固件(Firmware)來進(jìn)行更新,而無需返廠進(jìn)行。
固件升級非常智能,可以通過系統(tǒng)設(shè)置界面或者文件管理界面進(jìn)行,智能搜索儀器內(nèi)存、外接優(yōu)盤甚至是局域網(wǎng)內(nèi)升級包,并自動進(jìn)行升級
K.技術(shù)解決Ciss、Coss、Crss、Rg產(chǎn)線/自動化系統(tǒng)高速測試精度
同惠電子在電容測試行業(yè)近30年的經(jīng)驗(yàn)積累,得以在產(chǎn)線、自動化測試等高速高精度測試場合,都能保證電容、電阻等測試精度。
常規(guī)產(chǎn)線測試,提供標(biāo)準(zhǔn)0米測試夾具,直插器件可直接插入進(jìn)行測試,Ciss、Coss、Crss、Rg測試精度高。
針對自動化測試,由于自動化設(shè)備測試工裝通常需要較長連接線,大多自動化設(shè)備生產(chǎn)商在延長測試線時會帶來很大的精度偏差,為此,同惠設(shè)計(jì)了的2米延長線并內(nèi)置了2米校準(zhǔn),保證Ciss、Coss、Crss、Rg測試精度和0米測試夾具一致。
L.半導(dǎo)體元件寄生電容知識
在高頻電路中,半導(dǎo)體器件的寄生電容往往會影響半導(dǎo)體的動態(tài)特性,所以在設(shè)計(jì)半導(dǎo)體元件時需要考慮下列因數(shù)
在高頻電路設(shè)計(jì)中往往需要考慮二極管結(jié)電容帶來的影響;MOS管的寄生電容會影響管子的動作時間、驅(qū)動能力和開關(guān)損耗等多方面特性;寄生電容的電壓依賴性在電路設(shè)計(jì)中也是至關(guān)重要,以MOSFET為例。
M.標(biāo)配附件
- 應(yīng)用
■ 半導(dǎo)體元件/功率元件
二極管、三極管、MOSFET、IGBT、晶閘管、集成電路、光
電子芯片等寄生電容測試、C-V特性分析
■ 半導(dǎo)體材料
晶圓切割、C-V特性分析
■ 液晶材料
彈性常數(shù)分析
■電容元件
電容器C-V特性測試及分析,電容式傳感器測試分析
- 技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號
TH511
TH512
TH513
通道數(shù)
2(可選配4/6通道)
1
顯示
顯示器
10.1英寸(對角線)電容觸摸屏
比例
16:9
分辨率
1280×RGB×800
測量參數(shù)
Ciss、Coss、Crss、Rg,四參數(shù)任意選擇
測試頻率
范圍
1kHz-2MHz
精度
0.01%
分辨率
10mHz 1.00000kHz-9.99999kHz
100mHz 10.0000kHz-99.9999kHz
1Hz 100.000kHz-999.999kHz
10Hz 1.00000MHz-2.00000MHz
測試電平
電壓范圍
5mVrms-2Vrms
準(zhǔn)確度
±(10%×設(shè)定值+2mV)
分辨率
1mVrms 5mVrms-1Vrms
10mVrms 1Vrms-2Vrms
VGS電壓
范圍
0 - ±40V
準(zhǔn)確度
1%×設(shè)定電壓+8mV
分辨率
1mV 0V - ±10V
10mV ±10V -±40V
VDS電壓
范圍
0 - ±200V
0 - ±1500V
0 - ±3000V
準(zhǔn)確度
1%×設(shè)定電壓+100mV
輸出阻抗
100Ω,±2%@1kHz
數(shù)學(xué)運(yùn)算
與標(biāo)稱值的偏差Δ,與標(biāo)稱值的百分比偏差Δ%
校準(zhǔn)功能
開路OPEN、短路SHORT、負(fù)載LOAD
測量平均
1-255次
AD轉(zhuǎn)換時間(ms/次)
快速+:2.5ms(>5kHz) 快速:11ms 中速:90ms 慢速:220ms
準(zhǔn)確度
0.5%(具體參考說明書)
Ciss、Coss、Crss
0.00001pF - 9.99999F
Rg
0.001mΩ - 99.9999MΩ
Δ%
±(0.000% - 999.9%)
多功能參數(shù)列表掃描
點(diǎn)數(shù)
50點(diǎn),每個點(diǎn)可設(shè)置平均數(shù),每個點(diǎn)可單獨(dú)分選
參數(shù)
測試頻率、Vg、Vd、通道
觸發(fā)模式
順序SEQ:當(dāng)一次觸發(fā)后,在所有掃描點(diǎn)測量,/EOM/INDEX只輸出一次
步進(jìn)STEP:每次觸發(fā)執(zhí)行一個掃描點(diǎn)測量,每點(diǎn)均輸出/EOM/INDEX,但列表掃描比較器結(jié)果只在最后的/EOM才輸出
圖形掃描
掃描點(diǎn)數(shù)
任意點(diǎn)可選,最多1001點(diǎn)
結(jié)果顯示
同一參數(shù)、不同Vg的多條曲線;同一Vg、不同參數(shù)多條曲線
顯示范圍
實(shí)時自動、鎖定
坐標(biāo)標(biāo)尺
對數(shù)、線性
掃描參數(shù)觸發(fā)方式
Vg、Vd
單次
手動觸發(fā)一次,從起點(diǎn)到終點(diǎn)一次掃描完成,下個觸發(fā)信號啟動新一次掃描
連續(xù)
從起點(diǎn)到終點(diǎn)無限次循環(huán)掃描
結(jié)果保存
圖形、文件
- 附件
標(biāo)配 | |||||
配件名稱 | 型號 | ||||
TH510夾具控制連接電纜 | TH26063D | ||||
TH510測試延長線 | TH26063G |
選配 | |||||
配件名稱 | 型號 |