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一、產(chǎn)品特點

■  高精度橢偏測量解決方案；

■  超高精度、快速無損測量；

■  支持多角度、微光斑、可視化調平系統(tǒng)功能模塊靈活定制；

■  豐富的數(shù)據(jù)庫和幾何結構模型庫，保證強大數(shù)據(jù)分析能力。

■ 采用高性能進口復合光源，光譜覆蓋可見到近紅外范圍 (380-1000nm)，可支持擴展紫外到近紅外范圍 (193-2500nm)

■  高精度旋轉補償器調制、PCRSA配置，實現(xiàn)Psi/Delta光譜數(shù)據(jù)高速采集；

■ 支持系列配置靈活，可根據(jù)不同應用場景支持多功能模塊化定制；

■ 數(shù)百種材料數(shù)據(jù)庫、多種算法模型庫，涵蓋了目前絕大部分的光電材料；

二、技術規(guī)格