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產(chǎn)品型號P-733.3CL
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)代理商
所 在 地天津市
更新時(shí)間：2024-05-16 19:15:32瀏覽次數(shù)：1103次
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德國PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺(tái)
德國PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺(tái)
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品種類 | 電動(dòng) |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,電子,綜合 |
德國PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺(tái) 壓電陶瓷納米定位器 P-733.3CL
德國PI PHYSIK INSTRUMENTE 壓電陶瓷納米定位器 P-733.3CL
應(yīng)用領(lǐng)域：
掃描顯微鏡
共聚焦顯微鏡
掩模/晶圓定位
表面測量技術(shù)
納米壓印
顯微操縱
圖像處理/穩(wěn)定
產(chǎn)品參數(shù)：
型號：P-733.3CL
主動(dòng)軸：X、Y、Z
集成傳感器：電容式
-20至120 伏時(shí)的開環(huán)行程：115 微米×115 微米×12 微米
行程，閉環(huán)：100 微米×100 微米×10 微米
分辨率，開環(huán)：0.2（Z向上為0.1）納米
分辨率，閉環(huán)：0.3（Z向上為0.2）納米
線性誤差（X、Y）：0.03%
線性誤差（Z）：0.03%
重復(fù)精度（X、Y）：<2納米
重復(fù)精度（Z）：<1納米
螺距（X、Y）：<±3微弧度
偏轉(zhuǎn)角（X、Y）：<±10微弧度
Z向運(yùn)動(dòng)時(shí)的傾斜：<±5微弧度
剛度：1.4（Z向上為9）牛/微米
諧振頻率，空載：460（Z向上為1400）赫茲
帶120 克負(fù)載時(shí)的諧振頻率：340（Z向上為1060）赫茲
帶200 克負(fù)載時(shí)的諧振頻率：295（Z向上為650）赫茲
運(yùn)動(dòng)方向上的推/拉力：50/20牛
德國PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺(tái) 壓電陶瓷納米定位器 P-733.3CL
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