小型化設(shè)計(jì)：主機(jī)尺寸為 300mm（寬）×450mm（深）×450mm（高），結(jié)構(gòu)緊湊，占用空間小，便于在實(shí)驗(yàn)室等空間有限的環(huán)境中使用。

內(nèi)置隔振機(jī)構(gòu)：采用浮動(dòng)結(jié)構(gòu)有效抑制振動(dòng)，確保光刻過程的精度和穩(wěn)定性，無需額外配備復(fù)雜的隔振臺(tái)，降低了對(duì)使用環(huán)境的要求。

內(nèi)置真空吸油泵：可牢固固定工作臺(tái)上的基片或樣品，防止在光刻過程中發(fā)生位移，保證曝光的準(zhǔn)確性。

低使用成本：相比大型光刻設(shè)備，能源消耗和維護(hù)成本較低，且不需要使用冷卻液體和壓縮氣體等額外輔助設(shè)備，降低了設(shè)備運(yùn)行的復(fù)雜性和成本。

用戶友好型接口：操作軟件界面簡(jiǎn)潔直觀，易于上手，方便用戶進(jìn)行操作和參數(shù)設(shè)置。

簡(jiǎn)易流程：光刻操作流程簡(jiǎn)單，用戶將設(shè)計(jì)好的圖形導(dǎo)入軟件，選擇相應(yīng)的曝光參數(shù)即可進(jìn)行光刻操作，提高了工作效率。

支持對(duì)準(zhǔn)和曝光條件檢查：對(duì)于對(duì)準(zhǔn)精度要求較高的光刻工藝，能夠提供準(zhǔn)確的對(duì)準(zhǔn)功能，用戶還可在軟件中檢查曝光條件，以便及時(shí)調(diào)整參數(shù)，保證光刻效果。

曝光光源：采用 365nm（典型值）的 LED 光源，能量穩(wěn)定性高，使用壽命長，可滿足多種光刻膠的曝光需求。

線寬精度：使用不同物鏡可實(shí)現(xiàn)不同的最小線寬，如使用 ×10 物鏡時(shí)，最小線寬可達(dá) 3μm；使用 ×2 物鏡時(shí)，最小線寬為 15μm。

曝光面積：?jiǎn)未纹毓饷娣e因物鏡而異，使用 ×10 物鏡時(shí)，單次曝光面積為 1mm×0.6mm；使用×2 物鏡時(shí)，單次曝光面積為 5mm×3mm。最大曝光區(qū)域?yàn)?25mm×25mm（手動(dòng)或自動(dòng)連接）。

兼容文檔格式：可接受的文檔格式豐富，包括 dxf、jpeg、png、bitmap、xps 等，方便用戶導(dǎo)入各種設(shè)計(jì)圖形。