一種基于熱效應(yīng)的微型氣體傳感器
|
- 發(fā)證機(jī)構(gòu)：
- 國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局
- 生效日期：
- 2021-11-16
- 截止日期：
- 長(zhǎng)期
認(rèn)證簡(jiǎn)介：
一種基于熱效應(yīng)的微型氣體傳感器
上一篇： 一種基于電磁控制閥的MEMS質(zhì)量流量控制
下一篇： 一種高性能MEMS流量傳感器