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是專門針對高溫氣體檢測所研制一款高精度質(zhì)量流量計(jì)，承受溫度達(dá)到120°。在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上，本產(chǎn)品采用的MEMS流量傳感器芯片技術(shù)，結(jié)合高速數(shù)字處理電路和特殊流道設(shè)計(jì)，用來對氣體流量/質(zhì)量流量進(jìn)行高精度測量，該產(chǎn)品具有精度高、響應(yīng)速度快、集成度高等優(yōu)點(diǎn)。

該產(chǎn)品可根據(jù)客戶需要，設(shè)計(jì)IP65級及以上的防水、防塵保護(hù)，以及汽車級抗震設(shè)計(jì)。
此系列MFM的量程從20SCCM到 200SLM，典型精度為滿量程的1%（0.3%和0.5%可選），輸出信號可選擇：4-20mA模擬信號、0-5V模擬信號、RS485數(shù)字信號、EtherCAT, CC-Link等多種通信方式，供電電壓為DC24V（±10%）。

精密氣體流量計(jì)產(chǎn)品應(yīng)用于：醫(yī)療儀器、環(huán)境分析儀器、光譜色譜分析儀器、泄漏檢測、熱力分析、其他氣體流量控制行業(yè)等

精密氣體流量計(jì)高溫特性好（溫度120℃）
超小的體積，適合系統(tǒng)集成
高精度及*的零點(diǎn)穩(wěn)定性
超快的響應(yīng)時(shí)間及穩(wěn)定時(shí)間
良好的重復(fù)性和再現(xiàn)性
可模擬采集、控制或數(shù)字采集、控制
良好的防水防沉和抗震性能，適用于多種場合