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小流量氣體流量計（Mass Flow Controller）是基于業(yè)內先進的微機電（MEMS）流量傳感器芯片技術，結合高速采樣處理技術和數(shù)字補償算法，所開發(fā)的一款智能化、高精度可進行準確的質量流量控制的氣體質量流量控制器產品。
小流量氣體流量計介紹：
溫度和壓力不敏感
超快的響應速度
多種信號輸出方式
公司專注于 MEMS 流量傳感器芯片、流量計、質量流量控制器、數(shù)字風速計等氣體流量檢測芯片和模組的研發(fā)和銷售，晶圓制造交由國外晶圓廠代工，封裝交由母公司制造平臺負責，該平臺具有9000平米千級無塵封測車間，具有ISO9001, ISO14001, IATF16949等品質管理和制造認證。相關流量計及控制器產品被廣泛應用于氣體檢漏、氣體分析儀、實驗室、*、熱氧化爐、擴散爐等領域
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