目錄:江蘇雷博科學儀器有限公司>>等離子清洗機>> PT3000等離子清洗機
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應用領域 | 能源,電子,綜合 |
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設備的優(yōu)點：
1、采用射頻電源、自動匹配器，一鍵式操控。
2、低溫等離子體，能量低、密度高，適合處理特殊材料。
3、無環(huán)境污染、無化學品消耗。
4、可處理形狀復雜和微細結(jié)構(gòu)的材料。
設備的參數(shù)：
腔體材質(zhì) ：鋁合金
供電電源 ： AC220V、1000W
濺射電壓：MAX 2500V
濺射電流：MAX 30mA
靶材尺寸：直徑57mm，厚度0.1~0.5mm
射頻電源功率： 0-300W可調(diào)
射頻頻率： 13.56MHz
真空度：≤100Pa
氣體路數(shù)：2路
氣體流量：MFC氣體質(zhì)量流量計 500SCCM（可調(diào)）
控制： 觸屏
清洗時間：1-6000s連續(xù)可調(diào)
處理尺寸：≤8寸
內(nèi)腔尺寸：226mm（長）*126mm（高）*224mm（深）
外形尺寸： 620mm*560mm*410mm（寬*深*高）
重量：≈38KG
真空泵：飛越ARV-4
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