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Nanoscope Systems lnc
中級(jí)會(huì)員 | 第5年

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CTRM750-共聚焦熱反射式顯微鏡
  • CTRM750-共聚焦熱反射式顯微鏡
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更新時(shí)間:2025-03-10 09:58:02

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CTRM750 熱反射式顯微鏡是韓國(guó)Nanoscope Systems 公司專門(mén)為半導(dǎo)體研究等所專門(mén)研發(fā)的一款顯微鏡。整合了共聚焦和熱反射式模塊,在測(cè)量樣品表面3D輪廓同時(shí)可以測(cè)量樣品表面的實(shí)際熱量分布。

CTRM750 熱反射式顯微鏡是韓國(guó)Nanoscope Systems 公司專門(mén)為半導(dǎo)體研究等所專門(mén)研發(fā)的一款顯微鏡。整合了共聚焦和熱反射式模塊,在測(cè)量樣品表面3D輪廓同時(shí)可以測(cè)量樣品表面的實(shí)際熱量分布。其熱反射式模塊采用熱反射式的原理,搜集目標(biāo)樣品亮度隨溫度的變化值,并且利用函數(shù)得到熱反射系數(shù)(κ), 將熱反射系數(shù)(κ)輸入系統(tǒng)中進(jìn)行測(cè)量就可以得到目標(biāo)樣品熱分布圖像的實(shí)際溫度值。  

共聚焦熱反射式顯微鏡

Features & Benefits(性能及優(yōu)勢(shì)):

1.    高分辨無(wú)損傷光學(xué)3D測(cè)量

2.       實(shí)時(shí)共聚焦成像

3.       多種光學(xué)變焦

4.       自動(dòng)傾斜補(bǔ)償

5.        雙Z軸掃描

6.        緊湊的模塊尺寸

7.        放式的模塊

8.         操作簡(jiǎn)單

主要功能:

共聚焦模塊

1.    3D 輪廓測(cè)量

    在共聚焦模式下,設(shè)置Z方向的測(cè)量范圍,可以獲得樣品表面高清晰的3D 輪廓圖像,并且可以分析樣品在不同溫度下表面膨脹數(shù)據(jù)。

2.    實(shí)時(shí)共聚焦成像

  通過(guò)Live模式,可以導(dǎo)出樣品實(shí)時(shí)的共聚焦Video.

熱反射成像模塊

1.       Synchronous

    在Synchronous模式下時(shí),此方法通過(guò)匹配信號(hào)源的周期和相機(jī)的測(cè)量時(shí)序來(lái)獲取熱反射圖像

2.       ASynchronous

  在Asynchronous模式下時(shí),此方式下信號(hào)源的生成周期與相機(jī)測(cè)量無(wú)關(guān)。以此方式測(cè)量的圖像隨后通過(guò)單獨(dú)的TRMeter 獲得熱分布圖像。

TRViewer(軟件):

共聚焦熱反射式顯微鏡


Transient thermal imaging (瞬態(tài)成像)

共聚焦熱反射式顯微鏡

Application field(應(yīng)用領(lǐng)域):

共聚焦熱反射式顯微鏡

共聚焦熱反射式顯微鏡

Specifications(參數(shù)):

模塊

物鏡

倍率

5X

10X

20X

50X

工作距離

34.0

33.5

20.0

13.0

NA

0.14

0.28

0.42

0.55

共聚焦視野范圍

Horizontal(um)

2800

1400

700

280

Vertical(um)

2100

1050

525

210

熱反射視野范圍

Horizontal(um)

1330

655

332

133

Vertical(um)

1330

655

332

133

光源(脈沖LED)

基礎(chǔ)波長(zhǎng)

430,455,505,530,565,590, 617, 625, 660, 700, 730 nm (12 wavelength)

輸出功率

120 ~ 3000 mW (wavelength dependent)

圖像傳感器

Scientific CMOS

Active imaging pixels

2048x2048 pixel

Active thermal imaging pixels

1024x1024 pixel

空間分辨率 (橫向)

0.5 um

熱分辨率

1?C

熱反射成像模式

Steady state (Asynchronous FFT, 4-Bucket) Transient

瞬態(tài)模式下的時(shí)間分辨率

50 nsec ~ 1 msec

電加熱盤(pán)

加熱范圍

RT to 110?C

加熱/冷卻速率

· 2min. to heat from RT to 90?C
· 5min. to cool from 90?C to RT

X,Y,Z 載物臺(tái)

行程范圍: 18x18x14mm

電動(dòng)Z 載物臺(tái)

行程范圍: 60mm

X,Y載物臺(tái)用于掃描頭移動(dòng)

行程范圍: 13x13mm

PC

電壓

100 to 240 VAC, 50/60 Hz

電流

500W Max













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