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TRM250 熱反射式顯微鏡是韓國Nanoscope Systems 公司專門為半導(dǎo)體研究等所專門研發(fā)的一款顯微鏡。采用熱反射式測量的原理，可以獲得樣品表面的熱量分布。

TRM250 熱反射式顯微鏡是韓國Nanoscope Systems 公司專門為半導(dǎo)體研究等所專門研發(fā)的一款顯微鏡。采用熱反射式的原理，搜集目標(biāo)樣品亮度隨溫度的變化值，并且利用函數(shù)得到熱反射系數(shù)（κ），將熱反射系數(shù)（κ）輸入系統(tǒng)中進(jìn)行測量就可以得到目標(biāo)樣品熱分布圖像的實(shí)際溫度值。

熱反射式顯微鏡

Features & Benefits（性能及優(yōu)勢）：

1. 高清晰的圖像質(zhì)量

2. 緊湊的模塊尺寸

3. 開發(fā)式的模塊

4. 操作簡單

5. 高性價(jià)比

主要功能：

1. Synchronous

在Synchronous模式下時(shí),此方法通過匹配信號源的周期和相機(jī)的測量時(shí)序來獲取熱反射圖像

2. ASynchronous

在Asynchronous模式下時(shí)，此方式下信號源的生成周期與相機(jī)測量無關(guān)。以此方式測量的圖像隨后通過單獨(dú)的TRMeter 獲得熱分布圖像。

TRViewer（軟件）：

熱反射式顯微鏡

Transient thermal imaging (瞬態(tài)成像)

熱反射式顯微鏡

Application field(應(yīng)用領(lǐng)域）：

熱反射式顯微鏡

Specifications（參數(shù)）：

模塊
物鏡		倍率		5X	10X	20X	50X
		工作距離		34.0	33.5	20.0	13.0
		NA		0.14	0.28	0.42	0.55
視野范圍		Horizontal(um)		1330	655	332	133
		Vertical(um）		1330	655	332	133
光源（脈沖LED）	基礎(chǔ)波長		430,455,505,530,565,590, 617, 625, 660, 700, 730 nm (12 wavelength)
	輸出功率		120 ~ 3000 mW (wavelength dependent)
圖像傳感器			scientific CMOS
Active imaging pixels			2048x2048 pixel
Active thermal imaging pixels			1024x1024 pixel
空間分辨率 (橫向)			0.5 um
熱分辨率			1?C
熱反射成像模式			Steady state (Asynchronous FFT, 4-Bucket) Transient
瞬態(tài)模式下的時(shí)間分辨率			50 nsec ~ 1 msec
電加熱盤	加熱范圍		RT to 110?C
	加熱/冷卻速率		· 2min. to heat from RT to 90?C · 5min. to cool from 90?C to RT
X,Y,Z載物臺			行程范圍： 18x18x14mm
手動Z載物臺			行程范圍： 50mm
X,Y載物臺用于掃描頭移動			行程范圍： 13x13mm
PC	電壓		100 to 240 VAC, 50/60 Hz
	電流		500W Max

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