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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),石油,地礦,電子 |
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| 可測電阻率： | 0.0001～19999Ω?cm |
（以下簡稱電阻率測試儀）是用來測量半導(dǎo)體材料（主要是硅單晶、鍺單晶、硅片）電阻率，以及擴(kuò)散層、外延、離子注入、化學(xué)氣相、或其他淀積工藝在硅襯底上形成的薄膜方塊電阻的測量儀器。它主要由電氣測量部份（簡稱：主機(jī)）、測試架及四探針頭組成
產(chǎn)品分類品牌分類
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產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
XNC-KDB-3型雙組合四探針電阻率測試儀
（以下簡稱電阻率測試儀）是用來測量半導(dǎo)體材料（主要是硅單晶、鍺單晶、硅片）電阻率，以及擴(kuò)散層、外延、離子注入、化學(xué)氣相、或其他淀積工藝在硅襯底上形成的薄膜方塊電阻的測量儀器。它主要由電氣測量部份（簡稱：主機(jī)）、測試架及四探針頭組成。
雙組合測試方法使用四探針的方式不同于其他ASTM測量半導(dǎo)體電阻率或薄層電阻的方法。在本測試方法中，在測試樣品的每個(gè)測量位置上，以兩種不同的方式（配置）將探針連接到提供電流和測量電壓的電路中。四探針的這種使用法通常被稱為“雙配置"或“配置切換"測量。單組合四探針相比，用較小間距的探針頭就可以進(jìn)行高精度的測量，從而可獲得更高的晶片薄層電阻變化的空間分辨率。
本儀器的特點(diǎn)是主機(jī)配置雙數(shù)字表，在測量電阻率的同時(shí)，另一塊數(shù)字表（以萬分之幾的精度）適時(shí)監(jiān)測全程的電流變化，免除了測量電流/測量電阻率的轉(zhuǎn)換，更及時(shí)掌控測量電流。主機(jī)還提供精度為0.05%的恒流源，使測量電流高度穩(wěn)定。本機(jī)配有恒流源開關(guān)，在測量某些薄層材料時(shí)，可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發(fā)生，更好地保護(hù)箔膜。儀器配置了本公司的產(chǎn)品：“小游移四探針頭"，探針游移率在0.1～0.2%。保證了儀器測量電阻率的重復(fù)性和準(zhǔn)確度。本機(jī)可加配KDY測量系統(tǒng)，測量硅片時(shí)可自動(dòng)進(jìn)行厚度、直徑、探針間距的修正，并計(jì)算出硅片電阻率、徑向電阻率的最大百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均勻度，給測量帶來很大方便。
XNC-KDB-3型雙組合四探針電阻率測試儀主機(jī)技術(shù)能數(shù)
（1）測量范圍：
可測電阻率：0.0001～19999Ω•cm
可測方塊電阻：0.001～199999Ω/□
（2）恒流源：
輸出電流：DC 0.001～100mA 五檔連續(xù)可調(diào)
量程：0.001～0.01mA 0.01～0.10mA 0.10～1.0mA 1.0～10mA 10～100mA
恒流精度：各檔均低于±0.05%
（3）直流數(shù)字電壓表：
測量范圍：0～199.99mV
靈敏度：10μV
基本誤差：±（0.004%讀數(shù)+0.01%滿度）
輸入阻抗：≥1000MΩ
（4）測量精度：電器精度：1－1000歐姆≤0.3%
整機(jī)測量精度：1－1000歐姆•厘米≤3%
（5）供電電源：
AC 220V±10% 50/60 Hz 功率：12W
（6）使用環(huán)境：溫度：23±2℃ 相對濕度：≤65%
無較強(qiáng)的電場干擾，電源隔離濾波，無強(qiáng)光直接照射
（7）重量、體積：
主機(jī)重量：6.5kg
體積：420（含前把手）×360×150（含底腳）（單位：mm 長度×寬度×高度）
該儀器可選配KDY四探針測試系統(tǒng)連接計(jì)算機(jī)軟件進(jìn)行測量，測試結(jié)果更加精確、簡便，測量數(shù)據(jù)自動(dòng)保存，可進(jìn)行導(dǎo)出excel等操作，便于保存數(shù)據(jù)。