過控制面板設(shè)定和觀察氣化模塊升溫溫度；
2.儲罐中的去離子水，通過恒流泵加入精密蒸發(fā)器中，去離子水得流量連續(xù)可調(diào)；
3.精密蒸發(fā)器將液態(tài)水99%蒸發(fā)，并且保證蒸汽流量波動小于2%；
4.過熱蒸汽通過SUS316L管道通入流量控制器（選配）中，將高溫水蒸氣穩(wěn)定輸送到位置。

?使用環(huán)境：0～50℃ ,0～80%RH
?進氣要求：壓力＞0.1Mpa（無雜質(zhì)）
?進水要求：蒸餾水或去離子水（超純水）