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真空泵的概述及分類

時間:2023/5/29閱讀:1230
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   1、水環(huán)真空泵
    雖然水環(huán)真空泵屬于粗真空泵,但在石油,化工,電力,紡織,造紙,醫(yī)藥產(chǎn)品方面仍有很大的市場。在國外,水環(huán)真空泵的銷售額占市場總額的14%,次于干泵,所以SEIMEMS和NASH,在中國KINNEY投資建設這樣的公司和建立銷售網(wǎng)絡,并在我們的*不斷擴大。由于水環(huán)泵大部分是鑄件,加工要求不高,勞動密集型產(chǎn)品,所以水環(huán)泵在價格上有競爭優(yōu)勢,關鍵是要改進設計,縮小體積,減輕重量,提高效率,降低能耗。
     2、旋轉活塞泵
   旋轉活塞泵是一種油封式真空泵。由于旋轉活塞泵更經(jīng)用,可靠,國內(nèi)外各種真空爐,干燥設備涂布,浸液旋轉活塞泵是一種旋轉活塞泵前級泵,但鑄造重,處理工作量較大,所以國外真空廠都在中國尋找合作伙伴。為了使國產(chǎn)滑閥泵能夠進入市場,必須進一步降低泵的振動噪聲,防止泄漏和提高噴射以及旋轉活塞泵長期運行的可靠性。
   3、直聯(lián)旋片泵
 跟著真空技能在各個運用領域的需求不斷擴大,直聯(lián)旋片泵日益增加。因為這種泵數(shù)量,加工和裝置的作業(yè)量是十分大的,價格很低,所以在我國的一些外國真空制造商樹立工廠。國內(nèi)中小型直聯(lián)旋片泵技能現(xiàn)已過,價格遠比國外泵廉價,所以國產(chǎn)泵仍然有競賽優(yōu)勢,關鍵是要處理軸封走漏和旋轉葉片資料以及真空泵油的功能質(zhì)量問題,保證直聯(lián)泵在高速,高溫功能安穩(wěn),作業(yè)牢靠,一起,進一步完善國內(nèi)直聯(lián)旋片泵除水蒸氣的才能。
 4、羅茨真空泵
 從國外羅茨真空泵出產(chǎn)的狀況來看,國外一些大公司,他們每個羅茨泵的出售額占羅茨泵出售份額超越5%,這不僅是20%,共5家羅茨泵輸出魯本不大,但國外的羅茨真空泵價格比國產(chǎn)泵高很多?,F(xiàn)在,國內(nèi)外具有簡直一切大型或小型的高真空和真空系統(tǒng),以縮短吸氣時刻、進步羅茨真空泵設備出產(chǎn)功率,因而國產(chǎn)羅茨真空泵有必要在占據(jù)國內(nèi)商場的基礎上,成功進入商場,所以咱們有必要進一步削減國內(nèi)的羅茨真空泵的振動噪聲,*處理軸封走漏問題,進步質(zhì)量和進步泵內(nèi)部外表的完和清洗。另外,乃至考慮到一些國家和地區(qū)的電源頻率為60Hz,更好的讓羅茨真空泵在長時間作業(yè)牢靠的前提下進步速度。
  現(xiàn)在,國內(nèi)空氣嵌入式羅茨真空泵進開展很快,技能上現(xiàn)已老練。因為這種泵在排氣口下方含氣體冷卻器,一部分經(jīng)過管道泵腔冷卻空氣來冷卻轉子的作業(yè),從而使冰箱的熱量平衡,所以這種泵能夠直接銜接大氣。為了滿意極限真空泵系列的要求不同,這能夠被運用,一般增加空氣嵌入式羅茨真空泵,前級泵的極限真空度要到達一個高水平比。這種泵因為在泵室沒有作業(yè)介質(zhì),實際上是歸于干泵?,F(xiàn)在,在石油,化工,塑料,農(nóng)藥有這種嵌入式羅茨真空泵及機組,汽輪機轉子動平衡,航天空間模仿設備有測驗的長時間作業(yè),所以應該在我國推廣和運用。
  5、分子泵
 在許多外國半導體工藝場合場分子泵替代低溫泵,尤其是濺射,蝕刻和堆積設備選用復合分子泵和牽引泵作為主泵。
 因為分子泵對水蒸氣的抽速與直徑只要低溫泵的抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時刻比低溫泵長。為了進步抽速,國外在分子泵的進口側裝置一個130℃~ 150℃低溫冷卻板,稱為低溫分子泵,低溫板氣,其他氣體分子被抽走[6]。這種低溫分子泵在真空鍍膜設備上的運用,既進步了出產(chǎn)功率和進步涂層質(zhì)量。跟著我國半導體工業(yè),電影工業(yè)和科學研討工作迅速開展,分子泵應該是集中于我國真空泵制造業(yè)的開展。首要,分子泵樹立一套完好的體系,以及研討和開發(fā)不同的復合分子泵,牽引泵和低溫分子泵,以滿意不同場合的需求。
      6、干式機械真空泵
 國外的干式機械真空泵商場不斷增加,其主要驅動來自于半導體職業(yè),化學工業(yè),電影工業(yè)的快速開展。在日本,半導體職業(yè)已全部運用干式真空泵油密封型機械泵,而歐美半導體職業(yè)超越45%替換干式真空泵油密封型機械泵,大大進步了產(chǎn)品的功能和質(zhì)量。為了滿意不同的運用和不同工況的要求,國外有多級羅茨真空泵,多級爪式真空泵,螺桿真空泵和真空泵,往復式活塞真空泵和渦輪渦無油真空泵等。壓力從10 ~ 10-2Pa,從20m3/h ~ 500m3/h,依據(jù)計算抽速,現(xiàn)在國產(chǎn)干泵的運用還缺乏1%,國內(nèi)半導體工業(yè)與干泵全部從國外進口,價格十分貴重。因而,我國應大力研討和開發(fā)干泵,使干真空泵成為我國工業(yè)經(jīng)濟新的增加點。

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