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行業(yè)產(chǎn)品
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PLUTO-T等離子清洗機主要優(yōu)點如下:
1. 桌面型,性能穩(wěn)定、操作簡便、使用成本極低、易于維護,高性價比。
2.小身材,大容量,有效處理面積大
3.采用氣浴電極,清洗效率高。
4.可選擇40KHz或13.56MHz等離子發(fā)生器。
5.對各種幾何形狀、表面粗糙程度各異的金屬、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等
物件表面進行超清洗和表面改性。
PLUTO-T等離子清洗機--技術(shù)參數(shù)
1、真空腔規(guī)格: 不銹鋼腔體,直徑150mm*(深)245mm
2、電極:平板氣浴電極,材質(zhì)6061-T6鋁合金
3、電極尺寸:95*170mm
4、頻率:40KHz (可選配13.56MHz射頻等離子源)
5、功率:0-300W連續(xù)可調(diào),精度1W,可在設(shè)備運行中隨時調(diào)整參數(shù)
6、氣體控制:針式氣體流量閥, 0-300ml 1路氣體
7、真空計:電偶式真空計,精度:0.01mTor
8、控制方式:4.3寸工業(yè)控制觸摸屏,全手動控制和全自動控制兩種控制方式
9、控制軟件功能:界面顯示實時工作狀態(tài)
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