ZKY-III型真空度測(cè)試儀應(yīng)用和技術(shù)指標(biāo)

主要特點(diǎn)

★基于電離電荷的采樣技術(shù)

ZKY-III型真空度測(cè)試儀均采用基于電離電荷的采樣技術(shù)。我廠專家在磁控放電的研究中發(fā)現(xiàn)：在外激勵(lì)電源、真空滅弧室的幾何尺寸、所用材料一定時(shí),真空滅弧室里的真空度與電離的電荷量有非常準(zhǔn)確的對(duì)應(yīng)關(guān)系,而與電離電流的峰值僅有概率上的相關(guān)性。因此，我廠*了基于電離電荷的采樣技術(shù)，顯著提高了真空滅弧室的真空度計(jì)量的準(zhǔn)確性。

★漏電電流的處理

對(duì)處于分?jǐn)酄顟B(tài)的真空滅弧室兩端加高壓時(shí)，會(huì)有數(shù)值不等的幾個(gè)微安的漏電電流，此漏電電流即使是同型號(hào)的真空滅弧室也有較大的個(gè)體差異。尤其是對(duì)于裝在整機(jī)上的真空滅弧室，由于其周邊的絕緣支撐件也有漏電，這些漏電的總和有更大的不穩(wěn)定性和不可預(yù)測(cè)性，并且在數(shù)值上與10E-4Pa數(shù)量級(jí)的真空滅弧室的電離電流相當(dāng)。我們采用兩次起動(dòng)高壓的方法，扣除了漏電電流，保證了無(wú)論是裝于整機(jī)上還是待裝的真空滅弧室的真空計(jì)量精度。

★內(nèi)置國(guó)內(nèi)外幾乎所有真空滅弧室的測(cè)量曲線

真空滅弧室由于其幾何尺寸、材料的不同，當(dāng)內(nèi)部真空度和外加激勵(lì)電源一定時(shí)，其放電電荷量是不同的，并且有相當(dāng)?shù)牟町?。為?zhǔn)確測(cè)量，對(duì)每一種真空滅弧室必須有對(duì)應(yīng)的從電離電荷量到真空度的推算曲線。我廠 的專家通過(guò)與國(guó)內(nèi)主要真空滅弧室生產(chǎn)廠家的密切合作，取得了幾乎國(guó)內(nèi)外所有真空滅弧室的電離電荷和真空度關(guān)系的數(shù)據(jù)，通過(guò)數(shù)學(xué)處理，將其特征參數(shù)送入ZKY-III系列產(chǎn)品。因此,ZKY-III系列產(chǎn)品內(nèi)置國(guó)內(nèi)外幾乎所有真空滅弧室的測(cè)量曲線。

這是國(guó)內(nèi)外同類產(chǎn)品中*的。

★完善的輸入保護(hù)電路

當(dāng)真空滅弧室的真空度非常低時(shí)，測(cè)量時(shí)真空滅弧室會(huì)被高壓擊穿，瞬間的高壓直接加至信號(hào)輸入端的采樣電路上，使其承受十分強(qiáng)的電沖擊。ZKY-III的信號(hào)輸入端的采樣電路增加了完備的保護(hù)電路，即使儀器由于輸入端的高壓沖擊而發(fā)生暫時(shí)工作不正常時(shí)（重新開機(jī)即可），也不會(huì)造成電路部分的損壞。

技術(shù)參數(shù)

▲測(cè)量范圍： 1*10-5～1*10-1pa

▲測(cè)量誤差： l*l0-4～1*l0-1pa中誤差<5%

▲測(cè)量分辨率： 10-5pa

▲允許環(huán)溫： O℃～55℃

▲空氣濕度： <85%RH

▲電 源： AC220士10%

▲外型尺寸： 430X300X235mm

關(guān)鍵詞：真空度測(cè)試儀，真空度測(cè)試儀，真空度測(cè)試儀

使用說(shuō)明

ZKY-III型真空度測(cè)試儀是真空滅弧室的真空度的鑒定設(shè)備。它以單片計(jì)算機(jī)為主控單元，測(cè)試過(guò)程*實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化。該儀器在原理上改變了國(guó)內(nèi)外同類產(chǎn)品采用電流峰值做標(biāo)定的方法，而采用離子電荷來(lái)做標(biāo)定。這樣，在物理原理上有更好的準(zhǔn)確性，而且，有效地抑制了測(cè)試過(guò)程中脈沖電源的干擾，使測(cè)試穩(wěn)定可靠。該儀器采用兩次采樣的方法扣除由于環(huán)境因素產(chǎn)生的漏電電流，并且在測(cè)量過(guò)程中考慮了*漏氣的真空滅弧室的判別，真正做到了對(duì)安裝于整機(jī)上的真空滅弧室的準(zhǔn)確計(jì)量。目前，該儀器中已存有26條真空滅弧室的測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)曲線，涵蓋了國(guó)內(nèi)外絕大多數(shù)管型。

該儀器質(zhì)量可靠，造型美觀，使用方便。

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