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產品介紹
IGS面板專用過濾器，用于半導體行業(yè)集成氣體輸送與控制系統(tǒng)，兼容C型和W型多種密封規(guī) 格，實現0.003μm級高效顆粒過濾，保障9-LRV清潔度。支持高達100slpm的大流量，適助力設備升 級無憂。全316L不銹鋼構造，堅固耐用，緊湊體型融合全焊接與機械密封技術。采用符合SEMI標準的 表面安裝元件，便于系統(tǒng)集成與模塊化設計升級，安裝維護便捷高效。
產品特點
?不銹鋼粉末燒結介質，可快速排氣
?整體316L不銹鋼結構
?減少工藝腔體排氣時的湍流
?適用于多種工藝氣體
?潔凈室環(huán)境內制造、測試、包裝
?100%完整性測試通過
?100%氦氣泄露檢測通過
?耐高溫、耐高壓、耐腐蝕
?防止微?；烊耄瑤椭岣弋a品合格率
?可根據安裝空間進行設計
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