目錄:沈陽科晶自動化設備有限公司>>薄膜生長設備>>薄膜生長輔助設備>> 振動樣品臺
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
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振動樣品臺主要適用于我公司制造的VTC-600-2HD雙靶磁控濺射儀、VTC-600-3HD三靶磁控濺射儀。用于對粉末樣品的濺射鍍膜使用，由于樣品臺的不斷振動，使粉末顆粒樣品不斷進行翻轉(zhuǎn)，從而使粉末顆粒的整個外表面全部濺射上所需要的薄膜材料，或用薄膜材料將粉末進行包覆。樣品臺的振動頻率可以根據(jù)需要在6-33Hz之間進行調(diào)節(jié)，所能進行振動的粉末樣品顆粒直徑范圍廣，在 1-1000um之間，適用于絕大多數(shù)的粉末顆粒樣品。振動樣品臺結(jié)構(gòu)小巧易于安裝，是用VTC-600-2HD雙靶磁控濺射儀、VTC-600-3HD三靶磁控濺射儀進行粉末樣品濺射鍍膜時*的輔助設備。
產(chǎn)品型號 | 振動樣品臺 |
產(chǎn)品特點 | 1、振動樣品臺安裝在真空腔體底部 2、粉末放置于樣品臺上，濺射時粉末振動翻轉(zhuǎn)，對粉體表面進行包覆 |
技術(shù)參數(shù) | 1、樣品臺振動頻率可調(diào)節(jié)：6-33Hz 2、樣品臺直徑為50mm 3、建議樣品量: < 500 mg 4、建議顆粒尺寸: 1 ~ 1000um |
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