目錄:沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司>>旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)>>旋轉(zhuǎn)涂膜勻膠機(jī)>> VTC-100PAH真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)
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更新時(shí)間:2025-02-13 10:33:59瀏覽次數(shù):748評(píng)價(jià)
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產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) |
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
VTC-100PAH真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體工藝、晶體、光盤(pán)、制版等表面涂膜制備。VTC-100PAH真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)是一款高性能精密勻膠機(jī),采用了優(yōu)良的設(shè)計(jì)理念,配合精密的運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng),可以實(shí)現(xiàn)高精度、高均勻度的勻膠操作。設(shè)備腔體采用聚丙烯材質(zhì),具有耐熱性、電絕緣性、和良好的高耐磨加工性能等特點(diǎn)。本機(jī)腔體不可抽真空,工作時(shí)利用真空吸盤(pán)及氣路管線與外部真空泵相連,能很好的將樣件牢固的吸附在載樣盤(pán)上,此方式操作簡(jiǎn)便、樣件取放自如,吸盤(pán)真空度可達(dá)到﹣0.08MPa。旋轉(zhuǎn)主軸采用高速直流無(wú)刷電機(jī),噪音低、振動(dòng)小、運(yùn)行更加平穩(wěn)、可靠性高、適應(yīng)性強(qiáng)、維修與保養(yǎng)簡(jiǎn)單,電機(jī)啟動(dòng)快速穩(wěn)定,加速后運(yùn)行平穩(wěn),可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。VTC-100PAH真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)具有操作簡(jiǎn)單、清理方便,體積小巧等優(yōu)點(diǎn),主要應(yīng)用于各大專(zhuān)院校、科研院所的實(shí)驗(yàn)室中進(jìn)行薄膜的生成過(guò)程。
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品名稱(chēng) | VTC-100PAH真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī) | ||
產(chǎn)品型號(hào) | VTC-100PAH | ||
安裝使用條件 | 1、溫濕度:10-85%RH (at 25℃ 無(wú)凝露) 溫度:0-45℃。 2、設(shè)備周?chē)鸁o(wú)強(qiáng)烈震源和腐蝕氣體。 水源 無(wú)此需求 3、電源:AC100-240V 50/60Hz 國(guó)標(biāo)三極插座 10A 必須有良好接地 4、氣源:真空負(fù)壓(真空泵):抽氣流量不小于 70L/M 5、工作臺(tái):建議 800X600X700mm 承重 50KG 以上(固體水泥臺(tái)為佳) 6、通風(fēng)裝置:無(wú)特殊要求 | ||
技術(shù)參數(shù) | 1、設(shè)備供電:DC24V 標(biāo)配適配器:IN AC100-240V 50/60Hz OUT DC24V 15A 2、總功率:150W(不含外接真空泵) 3、主機(jī)腔體(材質(zhì)):聚丙烯+亞格力 4、載樣盤(pán)(吸盤(pán)):2英寸、 4英寸各一個(gè) 5、運(yùn)行程序:包含16個(gè)運(yùn)行階段 6、涂膜轉(zhuǎn)速:1500-20000rpm有效(遞增量為:100rpm為單位) 7、增加速率設(shè)置范圍:100 rpm/s—6000 rpm/s 8、減速停車(chē)速率范圍:100 rpm/s—3000 rpm/s 9、時(shí)間設(shè)定范圍:1-99s(設(shè)定速度范圍:1500至10000rpm); 1-60s(設(shè)定速度范圍:大于10000至20000rpm) 10、真空接口:快插接頭,采用φ8 PU管連接 11、操作控制方式:7寸觸摸屏(人機(jī)界面) | ||
產(chǎn)品規(guī)格 | 重量:12kg 外形尺寸:250×340×320mm | ||
備注 | 設(shè)備隨機(jī)標(biāo)配“電源適配器",其規(guī)格參數(shù)為:IN:AC100-240V 50/60Hz OUT:DC24V 15A,設(shè)備實(shí)際供電以產(chǎn)品后部標(biāo)牌參數(shù)為準(zhǔn)。 |
標(biāo)準(zhǔn)配件
序號(hào) | 名稱(chēng) | 數(shù)量 | 圖片鏈接 |
1 | 真空吸盤(pán)(含O型圈)(2英寸和4英寸) | 2個(gè) | ![]() |
2 | 滴液器 | 1個(gè) | ![]() |
3 | 無(wú)油真空泵 | 1個(gè) | ![]() |
4 | 適配器24V/15A | 1個(gè) | ![]() |
可選配件
序號(hào) | 名稱(chēng) | 功能類(lèi)別 | 圖片鏈接 |
1 | 其它尺寸的真空吸盤(pán) | (可選) | ![]() |
2 | 國(guó)產(chǎn)移液槍 | (可選) | ![]() |
3 | 進(jìn)口移液槍 | (可選) | ![]() |
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)