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目錄:沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司>>旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)>>旋轉(zhuǎn)涂膜勻膠機(jī)>> VTC-110PAX高通量自動(dòng)旋轉(zhuǎn)涂膜系統(tǒng)

VTC-110PAX高通量自動(dòng)旋轉(zhuǎn)涂膜系統(tǒng)
  • VTC-110PAX高通量自動(dòng)旋轉(zhuǎn)涂膜系統(tǒng)
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參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
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  • 品牌 其他品牌
  • 型號(hào)
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 沈陽(yáng)市
屬性

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更新時(shí)間:2024-07-24 11:19:06瀏覽次數(shù):945評(píng)價(jià)

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產(chǎn)地類(lèi)別 國(guó)產(chǎn) 價(jià)格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 能源,電子,冶金,電氣,綜合
該自動(dòng)鈣鈦礦涂膜系統(tǒng)采用自動(dòng)吸液注液方式,注液后在基片表面自動(dòng)旋涂出一層薄膜,旋涂后移動(dòng)基片至烤膠機(jī)表面進(jìn)行薄膜烘干。液體可進(jìn)行攪拌防止沉淀,如需加熱可對(duì)液體進(jìn)行加熱操作。整個(gè)操作過(guò)程在11寸觸摸屏上進(jìn)行設(shè)置,操作直觀方便。該設(shè)備適用于大專(zhuān)院校及科研實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行的鈣鈦礦薄膜及其他液體薄膜的研究,可根據(jù)客戶各種要求進(jìn)行設(shè)備定制。

產(chǎn)品簡(jiǎn)介VTC-110PAX高通量自動(dòng)旋轉(zhuǎn)涂膜系統(tǒng)

該自動(dòng)鈣鈦礦涂膜系統(tǒng)采用自動(dòng)吸液注液方式,注液后在基片表面自動(dòng)旋涂出一層薄膜,旋涂后移動(dòng)基片至烤膠機(jī)表面進(jìn)行薄膜烘干。液體可進(jìn)行攪拌防止沉淀,如需加熱可對(duì)液體進(jìn)行加熱操作。整個(gè)操作過(guò)程在11寸觸摸屏上進(jìn)行設(shè)置,操作直觀方便。該設(shè)備適用于大專(zhuān)院校及科研實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行的鈣鈦礦薄膜及其他液體薄膜的研究,可根據(jù)客戶各種要求進(jìn)行設(shè)備定制。

技術(shù)參數(shù)VTC-110PAX高通量自動(dòng)旋轉(zhuǎn)涂膜系統(tǒng)

產(chǎn)品名稱(chēng)

VTC-110PAX高通量自動(dòng)旋轉(zhuǎn)涂膜系統(tǒng)

產(chǎn)品型號(hào)

VTC-110PAX

主要參數(shù)

VGB-6手套箱參數(shù):可開(kāi)啟式單面雙工位手套箱

手套箱腔體

殼體材料:304 不銹鋼
尺寸: 1200mm(L) x 780mm(W) x 900mm(H)
前窗設(shè)計(jì)為開(kāi)啟式,以便放入各種儀器

腔體環(huán)境

水含量: <1 ppm (20°C, 1 atm)
氧含量: <1 ppm (20°C, 1 atm)

前級(jí)室

設(shè)計(jì)有兩個(gè)前級(jí)室
大前級(jí)室尺寸:Φ360mm x 600mmL
小前級(jí)室尺寸:Φ150 mm x 300mm(L)

工作氣體

工作氣體:N2、Ar、He 等惰性氣體
控制氣體:壓縮空氣或惰性氣體
還原氣體:工作氣體和氫氣(H2)的混合氣。
如果凈化系統(tǒng)只有除水功能的,還原氣體與工作氣體相同

氣體凈化系統(tǒng)

德國(guó) BASF 除氧材料,美國(guó) UOP 吸水材料,凈化系統(tǒng)再生過(guò)程自動(dòng)控制,自動(dòng)除水除氧功能;可長(zhǎng)期、持續(xù)維持氣體純度:水<1ppm,氧<1ppm。

壓力控制系統(tǒng)

腔體氣壓可通過(guò) PLC 觸摸屏自動(dòng)控制
控制精度為: ±1Pa
也可通過(guò)腳踏開(kāi)關(guān)進(jìn)行手動(dòng)控制

過(guò)濾系統(tǒng)

進(jìn)氣和出氣端都安裝有過(guò)濾器
過(guò)濾精度為:0.3μm

控制系統(tǒng)

SIEMENS 彩色觸摸屏(6 寸),PLC 控制系統(tǒng),中英文雙語(yǔ)可切換
水探頭:采用美國(guó) GE 品牌,0~1000ppm 觸摸屏顯示,精度 0.1 ppm
氧變送器:采用美國(guó)AII品牌,0~1000ppm觸摸屏顯示,精度0.1 ppm
壓力傳感儀:采用美國(guó) setra 品牌,-2500~2500Pa 觸摸屏顯示,精度±1Pa

手套

美國(guó) NORTH 品牌丁基合成橡膠

照明系統(tǒng)

配置飛利浦品牌熒光燈管

儀器尺寸

2300mm(L) x 1500mm(W) x 1900mm(H)

注意事項(xiàng)

手套箱內(nèi)部氣體循環(huán)時(shí),必須保證循環(huán)系統(tǒng)管道通暢,不可堵塞
手套箱中不可通入腐蝕性氣體
要定期對(duì)手套箱進(jìn)行再生
手套箱的除氧速率要根據(jù)所通入的工作氣體而定,采用 N2 的除氧要比通入 Ar 好
若手套箱內(nèi)部放有腐蝕性氣體(如 LiPF6 電解液),不使用時(shí),必須把裝液體的瓶子密封好

制膜系統(tǒng)參數(shù)

旋涂工位數(shù)量

4工位

旋涂機(jī)參數(shù)

1、腔體(材質(zhì)):聚丙烯

2、載樣盤(pán)(吸盤(pán)):聚丙烯吸盤(pán)Φ19mm 、Φ60mm 、φ100㎜各一個(gè)

3、運(yùn)行方式:可儲(chǔ)存 12 組程序;每組程序包含 6 個(gè)運(yùn)行階段

4、涂膜轉(zhuǎn)速:20rpm-12500rpm 有效,速度分辨率1rpm/s

5、增減速率:每段增減速率設(shè)置范圍: 20 rpm —15000 rpm/s

6、涂膜時(shí)間:每段時(shí)間范圍:0-3000s

7、轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性:±1%

液體攪拌系統(tǒng)

配備四個(gè)可加熱磁力攪拌泵

加熱溫度RT-100℃

磁力攪拌速度:0-2000rpm

注液系統(tǒng)

移液槍自動(dòng)左右上下移動(dòng)

水平移動(dòng)有效行程:500mm行程

水平移動(dòng)速度:1~1800mm/min(整數(shù))。

垂直上下移動(dòng)有效行程:250mm;

上下提拉移動(dòng)速度:1~200mm/min(整數(shù))

配備四個(gè)高精度自動(dòng)注液器

注液精度:±1μl

增量:1μl

薄膜烘干系統(tǒng)

1、加熱功率:3500W

2、加熱溫度:≤500℃

3、控溫精度:±1℃

4、加熱板:350mm×240mm

 


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