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產品型號 | 1200℃雙管滑動式四通道混氣CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-C4LV |
主要特點 | 1、采用高純氧化鋁保溫材料，保證了*的溫度均勻性。 2、內爐膛表面涂有美國進口氧化鋁涂層，可以提高反射率和保護爐膛潔凈度。 3、采用PID控制器 ，可以設置30段升降溫程序。 4、金屬箔纏繞在內管的外表面上發(fā)生CVD反應。 5、采用雙管真空密封法蘭，允許反應氣體通過兩管之間（10mm間隙）。 6、冷卻氣體直接通入內管。 7、配有帶KF25快接和波紋管的高速機械泵。 8、爐底部裝有滑軌，爐體可從一端滑向另一端，從而實現(xiàn)快速升溫和降溫。為了獲得較快的加熱速度，可以 先將爐體預熱，然后滑至放置樣品處；為了獲得較快的冷卻速度，可將爐體滑至另一端，同時將冷氣通入 樣品所在處。 9、密封法蘭系統(tǒng)采用不銹鋼制作。 10、已通過CE認證。 |
技術參數(shù) | 管式爐 1、電源：單相AC 208-240V 50/60Hz 2.5KW （20A保險絲） 2、石英管：外管外徑Φ100mm，內徑Φ96mm，長1400mm 內管外徑Φ80mm，內徑Φ75mm，長1400mm 3、加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲（表面涂有氧化鋯） 4、加熱區(qū)域：440mm 5、恒溫區(qū)域：120mm（±1℃在400-1100℃） 6、工作溫度：zui高1100℃，連續(xù)工作1000℃ 7、zui大升降溫速率：20℃/min 8、控溫精度：±1℃ 9、真空度：10-3torr（機械泵），10-5torr（分子泵） |
質量流量混氣系統(tǒng) 1、質子流量計：4路精密質子流量計，數(shù)字顯示，氣體流量自動控制 MFC1范圍0-100sccm，MFC2范圍0-200sccm，MFC3范圍0-200sccm，MFC1范圍0-500sccm 2、流量精度：0.2% 3、氣路：4路（每個氣路都有一個獨立的不銹鋼針閥控制） 4、進出氣口：1/4″卡套 5、混氣罐：1個 | |
產品規(guī)格 | 尺寸：管式爐550mm×380mm×520mm，移動架600mm×600mm×597mm 重量：135kg |
可選配件 | 1、分子泵 2、雙溫區(qū)管式爐 3、銅箔（生長石墨烯150mm×150mm×25µm） |
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