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產(chǎn)品型號

  4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng)

主要特點

  1、內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命。

  2、輝光放電等離子體中電子密度可達109-1012cm³。

  3、電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍。

  4、配有高精度數(shù)字顯示質(zhì)量流量計，可準(zhǔn)確地控制氣體流量。

  5、一個氣體混氣罐的底部安裝了液體釋放閥。

  6、不銹鋼針閥安裝在左側(cè)部分，可手動控制混合氣體的輸入。

  7、已通過CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

  管式爐

  1、電源：AC220V  4KW

  2、爐管：Φ50mm，Φ60mm，Φ80mm都可用

  3、溫度控制器：30段高精度數(shù)字可編程溫度控制器

  4、加熱區(qū)：440mm

  5、恒溫區(qū)：150mm

  等離子射頻電源

  1、輸入功率：AC220V  1KW

  2、輸出功率：50-500W可調(diào)，±1%

  3、RF頻率：13.56MHz可調(diào)，±0.005%穩(wěn)定

  4、噪聲：≤55DB

  5、冷卻：風(fēng)冷

  真空泵和質(zhì)量流量計

  1、真空度：10^-3torr

  2、波紋管：KF25系列

  3、質(zhì)量流量計：0-200，誤差0.02%，進氣口采用標(biāo)準(zhǔn)雙卡頭

產(chǎn)品規(guī)格

  尺寸：管式爐550mm×380mm×520mm，供氣及真空系統(tǒng)600mm×600mm×1250mm

  重量：120kg

可選配件

  防腐型數(shù)字式真空計