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1700℃兩通道混氣高真空CVD系統(tǒng)GSL-1700X-4-C2HV
  • 1700℃兩通道混氣高真空CVD系統(tǒng)GSL-1700X-4-C2HV
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貨物所在地:遼寧沈陽市

更新時間:2024-09-04 08:24:04

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1700℃兩通道混氣高真空CVD系統(tǒng)GSL-1700X-4-C2HV是由單溫區(qū)管式爐、兩路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機組組成,Z高工作溫度可達1600℃,混氣系統(tǒng)可以對兩種氣體進行精確的混氣,然后導入管式爐內(nèi)部,本系統(tǒng)極限真空度可達10-5 torr。

 

產(chǎn)品型號

  1700℃兩通道混氣高真空CVD系統(tǒng)GSL-1700X-4-C2HV

主要特點

  1雙層殼體,配有風冷系統(tǒng),殼體溫度<55℃。

  2采用高純氧化鋁纖維,有效減少熱量損失。

  3、內(nèi)爐膛表面涂有美國進口氧化鋁涂層,可以提高加熱效率和使用壽命。

  4、PID控制器 ,可以設置30段升降溫程序。

  5已通CE認證。

技術參數(shù)

  管式爐

  1、電源:單相AC 208-240V   50/60Hz  6KW

  2、爐管:高純氧化鋁陶瓷管,外徑Φ100mm,內(nèi)徑Φ92mm,長1000mm

  3、加熱元件:1800℃硅鉬棒8

  4、加熱區(qū)域:457mm

  5、恒溫區(qū)域:150mm

  6、工作溫度:zui高1650連續(xù)工作1600

  7、zui大升溫速率:≤5/min

  8、控溫精度:±1

  9、熱電偶:B

  10、不銹鋼真空法蘭:1

  11、機械壓力表:1

  12、針閥:2

  13、連接器:KF-25,1

  14、抽氣接口:KF-25轉(zhuǎn)KF-40

  15、卡套接頭:1/4

  高真空機組

  1、電源:單相AC208-240V  50/60Hz  100-110W

  2、真空泵:德國Pfeiffer真空泵

  3、顯示屏:LCD數(shù)字顯示

  4、抽氣速率:N2-33L/s,He-39L/s,H2-32L/s

  5、工作范圍:1000mtorr-10-7mtorr

  6、極限:10-8mtorr(無泄漏)

  質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)

  1、電源:單相AC208-240V  50/60Hz   18W

  2、功率:18W

   3、混氣箱:Φ80mm×120mm

產(chǎn)品規(guī)格

  尺寸:管式爐550mm×380mm×520mm,高真空機組600mm×600mm×700mm,質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)600mm×

              600mm×700mm

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