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GSL-1100X-SPC-12H加熱型等離子薄膜濺射儀
  • GSL-1100X-SPC-12H加熱型等離子薄膜濺射儀
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貨物所在地:遼寧沈陽市

更新時間:2024-11-05 08:15:40

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GSL-1100X-SPC-12H加熱型等離子薄膜濺射儀專門為在基底上鍍金屬膜(如金、鉑、銦、銀等)而設(shè)計,Z大放置樣品尺寸直徑為40mm,膜厚可達300Å,特別適用于為SEM樣品鍍金而作為導電極。

產(chǎn)品型號

    GSL-1100X-SPC-12H加熱型等離子薄膜濺射儀

主要特點

    1、配有2L/s雙旋片機械泵,出氣口裝有立式油霧過濾器,過濾真空泵工作時產(chǎn)生的油煙,減少泵的損耗,保護

   環(huán)境和人體健康。

    2、已經(jīng)過CE認證。

技術(shù)參數(shù)

    1、輸入電源:208V-240V  50Hz/60Hz   <3000W

    2、石英腔體:Φ100mm×130mm  

    3、樣品臺:Φ60mm,高度可調(diào)節(jié),可加熱到600

    4、溫控器:30段可編程溫度控制器,控溫精度±1

    5、升溫速率:15/min(推薦)

    6、靶材:純度為4N的金靶,Φ57mm×0.12mm

    7、進氣口:裝有不銹鋼針閥,可通入氬氣,能實現(xiàn)更好的等離子涂層

產(chǎn)品規(guī)格

 尺寸:480mm×320mm×150mm;重量:20kg

標準配件

   1、金靶

   2、真空泵

   3、不銹鋼波紋管

   4、快速卸裝卡箍

可選配件

   Au、Pt、Ag

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