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產品型號

  300W小型自動匹配型射頻電源RF-300I-LD

技術參數

  1、電源：AC 110V-240V 50Hz/60Hz

  2、輸入功率：5W-300W（可調），穩(wěn)定性±1%        

  3、射頻頻率：13.56MHz，穩(wěn)定性±0.005%

  4、匹配：自動匹配，空氣電容

  5、冷卻：空氣冷卻

  6、噪音：<50dB

產品規(guī)格

  尺寸：480mm×400mm×140mm

可選配件

  1、2"高真空磁控濺射頭，可自行搭建RF或DC濺射鍍膜儀。

  2、同時購買300W射頻發(fā)射器和2"磁控濺射頭時，本司贈送1個高真空快速接頭。接頭內徑為0.75"，可將濺射

 　頭安裝在真空腔體上，真空腔體上的安裝孔直徑為1"，真空腔體的壁厚不得大于1"。

  3、循環(huán)水冷機，流量為16L/min，水箱容積為6L。