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Agilent VacIon Plus 20 泵是一款中型 20 L/s 離子泵。它不僅適用于學(xué)術(shù)和高能物理學(xué) (HEP) 研究領(lǐng)域內(nèi)的各種超高和真空應(yīng)用，而且還可用于成像和放射醫(yī)療設(shè)備。
VacIon Plus 20 泵配備通用二極離子泵抽氣單元，以及適用于抽除混合氣體的三極離子泵和惰性氣體二極離子泵抽氣單元。安捷倫專有的三極離子泵抽氣單元可處理大量惰性氣體和氫氣，對甲烷、氬氣和氦氣具有最高的抽速和容量。多種選項可供客戶選擇（如抽氣單元類型、集成加熱器和高壓真空穿導(dǎo)件），可幫助客戶輕松實現(xiàn)系統(tǒng)集成，獲得無顆粒超高真空抽送性能。
特性
可選擇三極離子泵、二極離子泵和惰性氣體二極離子泵抽氣單元，以使不同氣體達到最佳抽速
配備 ConFlat 2.75 英寸旋轉(zhuǎn)型或非旋轉(zhuǎn)型法蘭，可選不同方向的真空穿導(dǎo)件（Fischer、King、DESY、Varian、SHV 10kV (Safeconn)）
無活動部件，確保在高靈敏度應(yīng)用中無振動運行
低漏電流可提供穩(wěn)定的真空壓力讀數(shù)
低磁場可很大程度減少系統(tǒng)干擾
在 > 400 °C 的條件下進行真空處理，并在真空下夾止，確保安裝前的清潔度和真空密封性
可定制不同的高壓真空穿導(dǎo)件、泵體幾何形狀、額外孔和抽氣單元布局，還可配備光學(xué)擋板、外部加熱器和屏蔽磁體，滿足您的需求
SEM 版本具有低漏電流和高穩(wěn)定性，可將電子干擾降至低
可以根據(jù)您的具體需求添加特殊測試程序
性能指標
| 加熱器電壓 |
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| 加熱器電源 |
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| 單元類型 |
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| 工作壽命 |
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| 抽氣口法蘭 |
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| 最大啟動壓力 |
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| 最高烘烤溫度 |
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| 極限真空 |
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| 真空高壓接頭類型 |
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| 重量（只有泵時） |
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工作原理
二極離子泵元件技術(shù)
二極離子泵由一個帶正電的陽極環(huán)元件和一個帶負電的鈦 (Ti) 陰極組成，它們浸沒在磁場中，使電子在生成的等離子體中撞擊周圍的氣體分子，從而產(chǎn)生正離子。較輕離子 (H2/He) 向陰極加速，穿透 Ti 層，而較重離子撞擊陰極，使 Ti 濺射，并覆蓋陽極環(huán)內(nèi)表面。H2、N2 和 O2 等可吸收氣體將與捕獲的 Ti 發(fā)生反應(yīng)。濺射和吸收效應(yīng)與二極離子泵的抽氣效應(yīng)同步。
