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三維納米定位臺可靠性與穩(wěn)定性的提升

閱讀:1766      發(fā)布時間:2022-10-12
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   三維納米定位臺是一個壓電掃描柔性引導(dǎo)平臺,例如:該平臺集成英國真尚有高精密的電容位移傳感器,對其行程進(jìn)行了反饋,形成閉環(huán)系統(tǒng)。可以作為一個參考面可以集成其它維度的平臺,從而實現(xiàn)三維位置控制。
  壓電納米定位臺具有移動面,是通過帶有柔性鉸鏈的機(jī)械結(jié)構(gòu)將壓電陶瓷產(chǎn)生的位移及出力等進(jìn)行輸出,分直驅(qū)與放大兩種結(jié)構(gòu)。以壓電陶瓷作為驅(qū)動源,結(jié)合柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)實現(xiàn)X軸、Z軸、XY軸、XZ軸、XYZ軸精密運(yùn)動的壓電平臺,驅(qū)動形式包含壓電陶瓷直驅(qū)機(jī)構(gòu)式、放大機(jī)構(gòu)式。運(yùn)動范圍可達(dá)500μm,具有體積小、無摩擦、響應(yīng)速度快等特點,配置高精度傳感器,可實現(xiàn)納米級分辨率及定位精度且具有較高的可靠性,在精密定位領(lǐng)域中發(fā)揮著主要作用。
  三維納米定位臺內(nèi)部采用無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu),一體化的結(jié)構(gòu)設(shè)計。機(jī)構(gòu)放大式驅(qū)動原理,內(nèi)置高性能壓電陶瓷,可實現(xiàn)100μm位移。閉環(huán)版本定位精度可達(dá)納米級。采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu),柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度,具有高剛性、高負(fù)載、無摩擦等特點。納米定位臺的驅(qū)動形式包含壓電陶瓷直驅(qū)機(jī)構(gòu)式、放大機(jī)構(gòu)式。1-3維運(yùn)動,行程范圍最大可達(dá)1.1mm,具有體積小、無摩擦、響應(yīng)速度快等特點,可以選擇配置高精度電容、電感、電阻應(yīng)變計傳感器實現(xiàn)納米級分辨率及定位精度且具有的可靠性。壓電納米定位臺在精密定位領(lǐng)域中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。
  三維納米定位臺產(chǎn)品屬于高精密儀器,對于安裝與使用有著非常嚴(yán)格的要求,以保證其長期使用的可靠性與穩(wěn)定性。
  此外,壓電納米定位臺還可用于:
  光路調(diào)整;
  納米操控技術(shù);
  納米光刻,生物科技;
  激光干涉;
  CCD圖像處理;
  納米測量、顯微操作;
  納米壓印、納米定位;
  顯微成像,共焦顯微。

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