泰勒霍普森白光干涉儀TAYLOR

儀器簡介：
Talysurf CCI三維非接觸形貌儀采用CCI（技術的相干相關算法）干涉原理，可高精度測量表面形貌、表面粗糙度及關鍵尺寸，并計算關鍵部位的面積和體積。主要應用于數(shù)據(jù)存儲器件，半導體器件，光學加工以及MEMS/MOEMS技術以及材料分析領域。
技術參數(shù)：
(1) 類型： CCI 干涉（相干相關干涉）
(2) 分辨率： 0.1 A
(3) 測量點數(shù)： 1,048,576 ( 1024 x 1024 點陣 )
更詳細參數(shù)和有關應用問題請垂詢辦事處產(chǎn)品負責人。
主要特點：
•相干相關算法
•0.01nm分辨率
•10-20秒測量時間
•RMS重復性：0.03A

泰勒霍普森白光干涉儀TAYLOR