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磁控濺射鍍膜機(jī)的工作原理是什么?

閱讀:1265      發(fā)布時間:2023-11-7
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  磁控濺射鍍膜機(jī)是一種利用磁控濺射技術(shù)進(jìn)行鍍膜的設(shè)備,它的工作原理主要涉及到磁場控制、濺射沉積和真空環(huán)境等幾個方面。
  首先,磁控濺射鍍膜機(jī)利用磁場控制技術(shù)。在設(shè)備中,存在一個磁場,該磁場是由電源產(chǎn)生的。這個磁場可以控制電子的運(yùn)動軌跡。在磁場的作用下,電子圍繞靶材表面運(yùn)動,并且在運(yùn)動過程中會與靶材表面的原子發(fā)生碰撞,使得靶材表面的原子被激發(fā)并從表面飛出。
  接下來是濺射沉積過程。當(dāng)靶材表面的原子被激發(fā)并飛出時,它們會沉積在基底表面形成薄膜。這個過程是通過濺射現(xiàn)象實現(xiàn)的。濺射現(xiàn)象是指高能粒子或高速氣流等能量源對固體表面進(jìn)行轟擊,使得固體表面的原子或分子被激發(fā)并離開固體表面,然后在真空中飛行并沉積在基底表面。
  此外,磁控濺射鍍膜機(jī)還處于一個高真空的環(huán)境中。這個高真空環(huán)境可以減少氣體雜質(zhì)對薄膜質(zhì)量的影響,使得沉積在基底表面的薄膜更加純凈和致密。
  總的來說,磁控濺射鍍膜機(jī)的工作原理是通過磁場控制下的高速電子流轟擊靶材,使得靶材表面的原子被激發(fā)并飛出,然后沉積在基底表面形成薄膜。這個過程是在高真空環(huán)境下進(jìn)行的,可以獲得高質(zhì)量、純凈和致密的薄膜。由于磁控濺射鍍膜機(jī)的靈活性和可擴(kuò)展性較高,因此它可以用于制備各種不同材料和厚度的薄膜,廣泛應(yīng)用于光學(xué)、電子、機(jī)械等領(lǐng)域。

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