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深圳市科時(shí)達(dá)電子科技有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第2年

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超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus8100"Regulus系列"是日立的FE-SEM的全新品牌,包括作為SU8010的后續(xù)機(jī)型開(kāi)發(fā)的"Regulus8100"以及SU8200系列的升級(jí)"Regulus8220""Regulus8230""Regulus8240",共4個(gè)機(jī)型,均實(shí)現(xiàn)了分辨率和操作性的強(qiáng)化

超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus8100



"Regulus系列"是日立的FE-SEM的全新品牌,包括作為SU8010的后續(xù)機(jī)型開(kāi)發(fā)的 "Regulus8100" 以及SU8200系列的升級(jí) "Regulus8220" "Regulus8230" "Regulus8240",共4個(gè)機(jī)型,均實(shí)現(xiàn)了分辨率和操作性的強(qiáng)化。




掃描電子顯微鏡(SEM)被廣泛應(yīng)用于納米技術(shù),半導(dǎo)體?電子行業(yè),生命科學(xué),材料科學(xué)等領(lǐng)域的材料結(jié)構(gòu)觀察。近年來(lái),新一代的電子器件應(yīng)用中受到廣泛期待的新型碳材料,高分子材料,復(fù)合材料等的研究作為科學(xué)技術(shù)的中堅(jiān)技術(shù),在范圍內(nèi)受到熱捧。掃描電子顯微鏡廣泛用于這些材料的觀察?評(píng)價(jià),但僅僅具有超高分辨率還遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠。還要求能在低加速電壓下對(duì)表面細(xì)微結(jié)構(gòu)的觀察和高靈敏度的元素分析。除此之外,在長(zhǎng)期的研究過(guò)程中還追求電鏡的性能的持續(xù)穩(wěn)定和信賴(lài)性。




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