日立 SU5000高新熱場式場發(fā)射掃描電鏡

電子槍

ZrO/W 肖特基式場發(fā)射電子槍



加速電壓

0.5~30kV



著陸電壓

0.1~2kV



分辨率

2.0nm@1kV 1）、1.2nm@30kV、3.0nm@15kV 低真空模式 2）



放大倍率

底片倍率：10~600000倍、顯示倍率：18~1000000倍



5軸馬達臺

X：0~100mm、Y：0~50mm、Z：3~65mm、T：-20~90°、R：360°


*1：減速模式是選配項 *2：低真空模式是選配項