目錄:格里機電（無錫）有限公司>>科氏力質(zhì)量流量控制器>>科氏液體質(zhì)量流量控制器>> 5911D4科氏液體質(zhì)量流量控制器
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,能源,電子/電池 |
|---|
科氏液體質(zhì)量流量控制器用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。它們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場合包括：電子工藝設(shè)備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器
科氏液體質(zhì)量流量控制器5911D4主要技術(shù)指標
1 | 量程范圍 | ?。?~5，10,20,30,50,100,200,300,500 ）SCCM ?。?~1,2,3,5,10,50,100,200,500 3000） SLM |
2 | 準確度 | ±1%F.S ±0.5%F.S |
3 | 線性 | ±0.5~1.5%F.S |
4 | 重復(fù)精度 | ±0.2%F.S |
5 | 響應(yīng)時間 | 電特性：10sec 氣特性：（1~4）sec |
6 | 工作壓差 | 0.1~0.5MPa |
7 | 耐壓 | 3MPa |
8 | 工作環(huán)境溫度 | 0~70℃ |
9 | 數(shù)字量 | RS485 MODBUS協(xié)議 |
10 | 模擬量 | DC 0~5V ，4~20mA 可選 |
11 | 供電 | DC +15V/24V 可選，流量計＜400mA，控制器＜600mA |
12 | 電氣連接 | DB15 |
13 | 漏率 | 1×10\u001F-8SCCSH |
4
化工儀器網(wǎng)