美國(guó)API代理激光干涉儀信息

XD Laser激光干涉儀

XD Laser激光干 涉儀，一次安裝即可以測(cè)得6個(gè)參數(shù),包括1個(gè)位置度誤差、2個(gè)直線度誤差和3個(gè)角度誤差。

通常時(shí)間需數(shù)天進(jìn)行的測(cè)試，使用API激光干涉儀只需幾個(gè)小時(shí)即可完成。實(shí)際應(yīng)用結(jié)果表明:工作效率提升5倍。

該儀器體積小、重量輕，可以直接安裝到機(jī)床導(dǎo)軌上。XD Laser 6D激光干涉儀主要由穩(wěn)頻激光器、干涉鏡和6D傳感器組成，

從激光器發(fā)出的激光光束經(jīng)過干涉后，被6D傳感器內(nèi)的分光鏡分成三束，一束光經(jīng)錐角反射棱鏡反射后返回干涉儀與參考光束相干涉產(chǎn)生干涉條紋，

經(jīng)光學(xué)相位探測(cè)器識(shí)別后進(jìn)行電子計(jì)數(shù)，記錄長(zhǎng)度位置。第二束光作直線度測(cè)量的參考光束，

傳感器與參考光束之間的相對(duì)位移由裝載傳感器內(nèi)的橫向光電二極管測(cè)得。第三束光用作裝在6D .

傳感器內(nèi)的小型光電測(cè)角儀的參考光源，用來測(cè)量角度誤差(俯仰角和偏擺角)