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當(dāng)前位置:江蘇神州半導(dǎo)體科技有限公司>>射頻電源(RF)>>ULVAC RFS Series>> ULVAC RFS-1350LHULVAC 射頻電源 RFS-1350LH 13.56MHz 5000W

ULVAC 射頻電源 RFS-1350LH 13.56MHz 5000W

參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號ULVAC RFS-1350LH

品       牌ULVAC/日本愛發(fā)科

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地揚(yáng)州市

更新時間:2023-11-24 10:59:06瀏覽次數(shù):308次

聯(lián)系我時,請告知來自 化工儀器網(wǎng)
供貨周期 現(xiàn)貨 貨號 WX6929
應(yīng)用領(lǐng)域 化工,電子,電氣,綜合 主要用途 RF GENERATOR
型號 RFS-1350LH L/N WX6929
頻率 13.56MHz 輸出功率 5000W
設(shè)備狀態(tài) Refurblished
ULVAC 射頻電源 RFS-1350LH 13.56MHz 5000W通過采用高效率的射頻放大器,使設(shè)備整體結(jié)構(gòu)緊湊,重量輕,自帶自動匹配控制器功能,功率控制和匹配系統(tǒng)控制可與主機(jī)單獨進(jìn)行。

ULVAC 射頻電源 RFS-1350LH 13.56MHz 5000W RF Generator 射頻發(fā)生器通過采用高效率的射頻放大器,使設(shè)備整體結(jié)構(gòu)緊湊,重量輕,自帶自動匹配控制器功能,功率控制和匹配系統(tǒng)控制可與主機(jī)單獨進(jìn)行。主要應(yīng)用領(lǐng)域包括濺射和化學(xué)汽相淀積、等離子體刻蝕、射頻離子源、中和劑等。


ULVAC射頻電源 RFS Series 特點

功率范圍:0.5kW ~ 5kW

采用高效放大器:通過具有良好的功率轉(zhuǎn)換效率的射頻電路結(jié)構(gòu),節(jié)約能源

高速自動匹配:用高速算法實現(xiàn)高速自動匹配

射頻功率發(fā)生器內(nèi)部配備了自動匹配功能:與發(fā)電機(jī)組本身匹配的系統(tǒng)控制是可能的,還能手動操作射頻功率發(fā)生器和匹配箱,配合內(nèi)部控制器操作

支持靈活的控制配置:可對外進(jìn)行模擬和串行通信控制

高可靠性:設(shè)計中結(jié)合了多年的設(shè)備制造經(jīng)驗


ULVAC 射頻電源 RFS-1350LH 13.56MHz 5000W RF Generator 規(guī)格

AC 輸入:AC200V~220V,3 phase,50/60Hz

輸入功率/電流:≤8 kva / ≤30 A

RF 輸出:5000W,13.56MHz,50 Ohm

Max反射波功率:500W

控制精度:額定輸出±2%以下

散熱設(shè)計:水冷散熱

水冷進(jìn)水需求:6L/min

尺寸大?。?80 * 500 * 150 mm

設(shè)備重量:23kg

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