供貨周期 |
現(xiàn)貨 |
貨號 |
WX6929 |
應(yīng)用領(lǐng)域 |
化工,電子,電氣,綜合 |
主要用途 |
RF GENERATOR |
型號 |
RFS-1350LH |
L/N |
WX6929 |
頻率 |
13.56MHz |
輸出功率 |
5000W |
設(shè)備狀態(tài) |
Refurblished |
ULVAC 射頻電源 RFS-1350LH 13.56MHz 5000W通過采用高效率的射頻放大器,使設(shè)備整體結(jié)構(gòu)緊湊,重量輕,自帶自動匹配控制器功能,功率控制和匹配系統(tǒng)控制可與主機(jī)單獨進(jìn)行。
ULVAC 射頻電源 RFS-1350LH 13.56MHz 5000W RF Generator 射頻發(fā)生器通過采用高效率的射頻放大器,使設(shè)備整體結(jié)構(gòu)緊湊,重量輕,自帶自動匹配控制器功能,功率控制和匹配系統(tǒng)控制可與主機(jī)單獨進(jìn)行。主要應(yīng)用領(lǐng)域包括濺射和化學(xué)汽相淀積、等離子體刻蝕、射頻離子源、中和劑等。
ULVAC射頻電源 RFS Series 特點
功率范圍:0.5kW ~ 5kW
采用高效放大器:通過具有良好的功率轉(zhuǎn)換效率的射頻電路結(jié)構(gòu),節(jié)約能源
高速自動匹配:用高速算法實現(xiàn)高速自動匹配
射頻功率發(fā)生器內(nèi)部配備了自動匹配功能:與發(fā)電機(jī)組本身匹配的系統(tǒng)控制是可能的,還能手動操作射頻功率發(fā)生器和匹配箱,配合內(nèi)部控制器操作
支持靈活的控制配置:可對外進(jìn)行模擬和串行通信控制
高可靠性:設(shè)計中結(jié)合了多年的設(shè)備制造經(jīng)驗
ULVAC 射頻電源 RFS-1350LH 13.56MHz 5000W RF Generator 規(guī)格
AC 輸入:AC200V~220V,3 phase,50/60Hz
輸入功率/電流:≤8 kva / ≤30 A
RF 輸出:5000W,13.56MHz,50 Ohm
Max反射波功率:500W
控制精度:額定輸出±2%以下
散熱設(shè)計:水冷散熱
水冷進(jìn)水需求:6L/min
尺寸大?。?80 * 500 * 150 mm
設(shè)備重量:23kg