ULVAC 射頻電源 RFS-2705A3 27.12MHz 500W RF Generator 射頻發(fā)生器 通過(guò)采用高效的射頻放大器實(shí)現(xiàn)設(shè)備的緊湊和輕巧設(shè)計(jì)，射頻電源內(nèi)置自動(dòng)匹配控制器功能，射頻電源的功率控制和匹配系統(tǒng)控制可以單獨(dú)通過(guò)主機(jī)進(jìn)行。主要應(yīng)用領(lǐng)域包括濺射和化學(xué)汽相淀積、等離子體刻蝕、射頻離子源、中和劑等。

ULVAC射頻電源 RFS Series 特點(diǎn)

功率范圍：0.5kW ~ 5kW

采用高效放大器：通過(guò)具有良好的功率轉(zhuǎn)換效率的射頻電路結(jié)構(gòu)，節(jié)約能源

高速自動(dòng)匹配：用高速算法實(shí)現(xiàn)高速自動(dòng)匹配

射頻功率發(fā)生器內(nèi)部配備了自動(dòng)匹配功能：與發(fā)電機(jī)組本身匹配的系統(tǒng)控制是可能的，還能手動(dòng)操作射頻功率發(fā)生器和匹配箱，配合內(nèi)部控制器操作

支持靈活的控制配置：可對(duì)外進(jìn)行模擬和串行通信控制

高可靠性：設(shè)計(jì)中結(jié)合了多年的設(shè)備制造經(jīng)驗(yàn)

ULVAC 射頻電源 RFS-2705A3 27.12MHz 500W RF Generator 規(guī)格

AC 輸入：AC250V，1A，3 phase，50/60Hz，1.3KVA

RF 輸出：500W，27.12MHz

輸出阻抗：50Ω

諧波失真率：-35dB或更低

設(shè)備重量：19.5k

散熱方式：水冷散熱