MKS（ENI）射頻電源 ACG-5 13.56MHz 500W RF Generator 射頻發(fā)生器 提供一套緊湊、輕量級的射頻產(chǎn)品，具有各種用戶界面和功能，包括自動頻率調(diào)諧、快速瞬態(tài)恢復(fù)和脈沖。較少的零件數(shù)量和優(yōu)良的設(shè)計讓ACG系列產(chǎn)品即使是在要求苛刻的射頻等離子體的應(yīng)用中也能進行高可靠性的運作。該系列設(shè)備采用高效率的功率放大器，降低雜散輸，提高射頻的穩(wěn)定性及射頻功率裕度。                                                

MKS（ENI）射頻電源 ACG-5 13.56MHz 500W 射頻等離子發(fā)生器涵蓋了從低頻率到高頻率的全頻率范圍，專為高功率密度和額外凈空空間設(shè)計，提供現(xiàn)場驗證的可靠性、優(yōu)秀的穩(wěn)定性和可重復(fù)性，以實現(xiàn)高運行時間和產(chǎn)量。