MKS(ENI) 射頻電源 ACG-6B 13.56MHz 600W RF Generator 射頻發(fā)生器 提供一套緊湊、輕量級(jí)的射頻產(chǎn)品，具有各種用戶界面和功能，包括自動(dòng)頻率調(diào)諧、快速瞬態(tài)恢復(fù)和脈沖。較少的零件數(shù)量和優(yōu)良的設(shè)計(jì)讓ACG系列產(chǎn)品即使是在要求苛刻的射頻等離子體的應(yīng)用中也能進(jìn)行高可靠性的運(yùn)作。該系列設(shè)備采用高效率的功率放大器，降低雜散輸，提高射頻的穩(wěn)定性及射頻功率裕度。

MKS ACG Series 射頻等離子發(fā)生器涵蓋了從低頻率到高頻率的全頻率范圍，專為高功率密度和額外凈空空間設(shè)計(jì)，提供現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證的可靠性、優(yōu)秀的穩(wěn)定性和可重復(fù)性，以實(shí)現(xiàn)高運(yùn)行時(shí)間和產(chǎn)量。

MKS(ENI) 射頻電源 ACG-6B 13.56MHz 600W 技術(shù)參數(shù)

設(shè)備品牌：MKS（ENI）

設(shè)備型號(hào)：ACG-6B

AC 電源輸入：1 phase~ /PE，100~240V，1.6kVA，50/60Hz

RF 射頻輸出：600W，13.56MHz

通信接口：Analog I/O，Serial I/O，EXT.OSC                                                                                                    

設(shè)備重量：12kg，26.5lbs