AE 高頻射頻電源 VHF 2760 60MHz 2700W RF Generator 是經(jīng)過(guò)長(zhǎng)期現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證的具有優(yōu)良工藝穩(wěn)定性和控制能力的高性能射頻發(fā)生器。AE VHF系列射頻發(fā)生器是甚高頻射頻電源，能夠?qū)ι漕l輸出實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)控制，具有優(yōu)良的成膜能力，廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體制程薄膜工藝中，該系列射頻電源成膜速度快，質(zhì)量好，能夠提高成膜效率，在一定程度上可以提升產(chǎn)線效率和產(chǎn)品良率。該型電源設(shè)備整體采用緊湊外形設(shè)計(jì)，堅(jiān)固耐用，小巧便捷，機(jī)臺(tái)空間占用小。

AE 高頻射頻電源 VHF 2760 60MHz 2700W 參數(shù)規(guī)格

設(shè)備品牌：AE（Advanced Energy）

設(shè)備型號(hào)：VHF 2760                                                                                                                                    

AC 電源輸入：3 phase~ / PE，~208V，20A，50/60Hz

RF 射頻輸出：60MHz，2700W

通訊接口：Host，User，CEX In/Out，Remote

設(shè)備散熱：水冷散熱

水冷進(jìn)水需求：Max進(jìn)水水壓 4.9bars，Max Torque All Fittings 10ft-lbs/15N·m，3/8"NPT