DAIHEN 射頻電源 RTGA-30A 12.88MHz 3500W RF Generator是經(jīng)過(guò)現(xiàn)場(chǎng)長(zhǎng)期驗(yàn)證的具有優(yōu)良工藝穩(wěn)定性和控制能力的高性能射頻電源，該系列射頻電源能夠?qū)ι漕l輸出實(shí)施精準(zhǔn)控制，被廣泛的應(yīng)用在濺射、CVD、PECVD、蝕刻等半導(dǎo)體制程中。RTGA 系列射頻電源具有優(yōu)良可靠的成膜能力，成膜速度快，運(yùn)用于半導(dǎo)體制程薄膜工藝中，可以一定程度上提升產(chǎn)線效率和產(chǎn)品良率。該型射頻電源整體采用了緊湊的外觀設(shè)計(jì)，能夠降低客戶的使用成本。

DAIHEN 射頻電源 RTGA-30A 12.88MHz 3500W參數(shù)規(guī)格

設(shè)備品牌：DAIHEN

設(shè)備型號(hào)：RTGA-30A

AC 電源輸入：3 phase~ ，200V，27A，50/60Hz

RF 射頻輸出：12.88MHz，3500W

通訊接口：DeviceNet，Debug，Analog I/F

設(shè)備散熱：風(fēng)冷+水冷散熱

水冷進(jìn)水需求：MAX Torque 30N·m

設(shè)備重量：48.5kg