目錄:廣州金程科學(xué)儀器有限公司>>爐式設(shè)備>>管式爐>> TFE-1200-50-I-220TFE等離子化學(xué)氣相沉積單溫區(qū)PE-CVD管式爐
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 加熱方式 | K型熱電偶,集成式觸摸屏控制 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 面議 | 控溫精度 | ±1℃℃ |
| 內(nèi)部尺寸 | Ф30/50/60/1200mmmm | 升溫速度（達到最高溫） | ≤10℃/min/min |
| 儀器種類 | 管式爐 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子 |
| 最大功率 | 3000kW | 最高溫度 | 1100℃ |
廣州金程科學(xué)儀器公司供應(yīng)科冪TFE等離子化學(xué)氣相沉積單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)TFE-1200-50-I-220。高性能射頻電源，等離子體更穩(wěn)定?；壥浇Y(jié)構(gòu)能使整個反應(yīng)腔室都處于輝光產(chǎn)生區(qū)，并可實現(xiàn)快速升溫和降溫功能。TFE等離子化學(xué)氣相沉積單溫區(qū)PE-CVD管式爐
等離子化學(xué)氣相沉積單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)特點：
高性能射頻電源，等離子體更穩(wěn)定；
滑軌式結(jié)構(gòu)能使整個反應(yīng)腔室都處于輝光產(chǎn)生區(qū)，并可實現(xiàn)快速升溫和降溫功能；
與傳統(tǒng)CVD相比較，生長溫度更低
等離子化學(xué)氣相沉積單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)參數(shù)：
型號： | TFE-1200-50-I-220 |
爐管尺寸： | Ф30/50/60/1200mm |
腔膛尺寸： | Ф80*220mm |
最高溫度： | 1150℃(短期) |
工作溫度： | 1100℃ |
升溫速率： | ≤10℃/min |
控溫精度： | ±1℃ |
加熱區(qū)長度： | 220mm |
恒溫區(qū)長度： | 80mm |
加熱原件： | 優(yōu)質(zhì)電阻絲 |
額定功率： | 3kW |
供氣系統(tǒng)： | 三路高精度MFC量程0~500sccm（可定制） |
溫控系統(tǒng)： | K型熱電偶，集成式觸摸屏控制 |
射頻電源： | 射頻功率：5~500W； 射頻頻：13.56MHz； 匹配方式：自動匹配 |
真空系統(tǒng)： | 雙極旋片真空泵（可定制擴散泵 分子泵等） |
外形尺寸： | 1250*510*810mm |
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