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武漢半導體芯片晶圓明場帶編碼器金相顯微鏡性能
1.光學部件均經(jīng)過特殊處理并鍍有特殊膜層
2.大平臺半導體檢查顯微鏡,其微分干涉效果可與進口品牌相媲美
3.大平臺半導體檢查顯微鏡機型采用全新設計的長工作距物鏡、半復消色差技術(shù),多層寬帶鍍膜技術(shù)。
4.各種觀察方法下都能得到清晰銳利與高對比度的顯微圖像
5.多種高度功能化的附件,能滿足半導體檢查各種場景需要。
武漢半導體芯片晶圓明場帶編碼器金相顯微鏡產(chǎn)品參數(shù)
1.物鏡參數(shù)
名稱 | 倍率 | 數(shù)值孔徑 | 工作距離 |
45mm 明暗場物鏡 | 5X | 0.15 | 14.8mm |
10X | 0.30 | 8.5mm | |
20X | 0.45 | 11.9mm | |
50X | 0.75 | 3.0mm | |
100X | 0.80 | 3.0mm |
2.目視系統(tǒng)
◆物鏡放大倍數(shù):五孔旋轉(zhuǎn)器,標配5X、10X、20X、50X明暗場無限遠半復消色差金相物鏡(可選配100X)
標配手動鼻輪(可選配電動鼻輪)
◆目鏡放大倍數(shù):10X( 單、雙目同,PL10X25mm)
◆總放大倍數(shù): 50X-500X(包括畸變在內(nèi)的)
5孔編碼型明暗場物鏡轉(zhuǎn)換器(帶DIC插槽),
編碼型物鏡轉(zhuǎn)換器將顯微鏡的硬件設置與歐米特圖像分析軟件整合在一起。屏幕上顯示物鏡的放大倍率,同時切換倍率時也能自動調(diào)整軟件中記錄的校準值,杜絕忘記切換軟件倍率造成的測量錯誤。
3.影像系統(tǒng)
◆攝像機接口:C型接口,可調(diào)焦
◆CCD:630萬高清數(shù)字相機(自帶軟件可顯示影像視窗及二維尺寸量測)
◆綜合影像最大放大倍數(shù):1000X以上
使用注意事項:
1.在松開每個鎖緊螺絲時,必須用手托住相應部分,以免其墜落和受沖擊。
2.注意防止回程誤差,由于螺絲和螺母不可能密合,螺旋轉(zhuǎn)動方向改變時,它的接觸狀態(tài)也改變,兩次讀數(shù)將不同,由此產(chǎn)生的誤差叫回程誤差。為防止此誤差,測量時應向同一方向轉(zhuǎn)動,使十字線和目標對準,若移動十字線超過了目標,就要多退回一些,重新再向同一方向轉(zhuǎn)動。
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